химический каталог




ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Автор Химическая энциклопедия г.р. Н.С.Зефиров

ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, получение твердых веществ реакциями с участием газообразных соединений. По механизму реакций подразделяется на 4 вида: 1) термодинамически разложение или диспропорционирование газообразных соединений, например SiH4Si, ZrI4Zr, Ni(CO)4 Ni, A1F Al, MRn M, где M - металл, R - органическое радикал; 2) взаимодействие двух или более газообразных веществ, например WF6 + Н2 W, SiCl4 + NH3Si3N4, UF6 + Н2 + O2UO2; 3) пиролиз газообразных углеводородов (отличается многостадийностью и разветвленностью); 4) взаимодействие газообразных веществ с твердыми (контактное осаждение), например: WF6 + SiW. Наиболее многочисленны реакции второго вида. Реакции поглощения газообразных оксидов или галогенидов твердыми в-вами (типа СаО + СО2СаСО3, NaF + HFNaHF2) не относят к химический осаждению из газовой фазы (X. о.).
Процессы ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ о. проводят при обычном или пониженном давлении. Для активирования используют один из трех основные методов: термический, фотохимический (включая лазерный) и плазменный.
Как правило, ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ о. проводят на неподвижной подложке. Однако известны конструкции аппаратов для ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ о., в которых подложки перемещаются вдоль реакционной зоны, качаются или вращаются в ней, а также находятся во взвешенном состоянии, Это позволяет получать плоские, цилиндрич. и сферич. покрытия, ленты, конусы, нити, стержни и тела произвольной формы, а в сочетании с фотолитографией - сложные микроструктуры (см. Планарная технология). ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ о. может протекать в объеме и использоваться для получения порошков (подложками служат зародыши твердых продуктов).
С помощью ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ о. получают около 200 веществ, среди которых простые вещества и неорганическое соединение, а также несколько органическое соединений (например, разновидности полиэтилена), сплавы металлов, аморфные "сплавы" Si с Н, F, Cl и др.
Осн. области применения ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ о.: нанесение функцией, слоев проводников, полупроводников и диэлектриков (W, Si, SiO2, Si3N4 и др.) при производстве электронных приборов и схем; нанесение разнообразных защитных и декоративных покрытий на детали машин и аппаратов, на инструменты, нанесение защитных и отражающих оптический покрытий; изготовление деталей и изделий из тугоплавких веществ, например сопел из графита или W для ракетных двигателей; выращивание заготовок для кварцевых оптический волокон, в том числе с переменным по диаметру показателем преломления; производство ядерного топлива (микротвэлов); производство объемных монокристаллов и "усов" для композиционных материалов; производство высокопористых ультрадисперсных порошков (например, компонентов керамики, наполнителей, адсорбентов). ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ о. может быть одной из стадий химических транспортных реакций.

Литература: Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений, М., 1981; Королев Ю. М., Столяров В. И., Восстановление фторидов тугоплавких металлов водородом, М., 1981; Сыркин В. Г., Газофазная металлизация через карбонилы, М., 1984; Емяшев А. В., Газофазная металлургия тугоплавких соединений, М., 1987; Раков Э. Г., Тесленко В. В., Химия в микроэлектронике. (Химическое осаждение из газовой фазы), М., 1988; Тесл енко В. В., "Успехи химии", 1990, т. 59, в. 2, с. 177-96.

Э. Г. Раков, В. В. Тесленко.

Химическая энциклопедия. Том 5 >> К списку статей


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]    [обратная связь]

 

 

Реклама
матрас 110 на 190
газ участки
стеллажи металлические разборные полочные
аренда авто на свадьбу москва недорого

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(29.06.2017)