химический каталог




Технология лабораторного эксперимента

Автор Е.А.Коленко

лер Г., Гиаук Г. Газы высокой чистоты. — М.: Мир. 1968. — 236 с.

21. Павлов В. П., Мшевин М. П. Стеклянная аппаратура для производства «х веществ. — М.: Машиностроение, 1972. — 335 с,

22. Павленко 1. А. Газоанализаторы. — М.—Л.: Машиностроение, 1966. — 296 с.

23. Пугачемгч П. П. Техника работы со ртутью в лабораторных условиях. — М.: Химия, 1972. - 320 с.

24. Рамм В. М. Абсорбция газов. — М.: Химия, 1976. — 665 с.

25. Раппопорт Ф. М., Ильинская А. А. Лабораторные методы получения

. —М.: ГНТИ хим. лит., 1963. —419 с.

632

ГЛАВА 8

МИ КРОТЕХНОЛОГИЯ

8.1. ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ

Под микротехнологией понимают совокупность различных технологических процессов, осуществляемых при обработке объектов с размерами от долей до десятков микрометров. Интенсивное развитие микрорадиоэлектроники, твердотельной полупроводниковой интегральной техники, высокоточного малоинерционного измерительного приборостроения и других областей, связанных с использованием функциональных элементов микроскопических размеров, способствовало становлению микротехнологии как самостоятельной области в технике и экспериментальной лабораторной практике.

Одновременно возникла необходимость создания разнообразных микроинструмента и приспособлений для осуществления различных микропроцессов: от механической обработки тонких пленок до проведения хирургических операций на живой клетке. Для производственных целей созданы многочисленные узкоспециализированные установки, приборы и приспособления, выполняющие отдельные микротехнологические операции, например микросоединения, микрогальваническую и микротехнологическую обработку материалов при изготовлении фотошаблонов, образование требуемой структуры на поверхности полупроводников в интегральной твердотельной электронике и многое другое.

Содержать такое дорогостоящее оборудование для выполнения отдельных микротехнологических операций в лабораторных условиях экономически нецелесообразно. В настоящей главе описаны некоторые основные приемы микротехнологии, осуществимые в условиях неспециализированной технической или физической •лаборатории. Использована условная классификация всех многочисленных приемов и способов, применяемых в микротехнологни: микроманипуляция, применение микроинструмента, мнкротех-нохимия, микрогальваника и микрообработка (поверхностная и объемная).

8.2. МИКРОМАНИПУЛЯЦИЯ

Микроманипуляция — совокупность приемов перемещения микрообъектов на небольшие расстояния посредством специальных приспособлений и приборов, называемых микроманипуляторами.

634

Особую группу манипуляторов, широко используемых в микротехнологии, представляют различные устройства и инструмент, позволяющие захватить, перенести, установить и удержать микрообъект при выполнении технологической обработки.

Кроме промышленных микроманипуляторов в лабораторных условиях используют значительно более точные манипуляторы, позволяющие перемещать микрообъекты на десятые и сотые доли микрометра. Принцип действия биметаллических манипуляторов

•?'J L

основан на использовании термического расширения металлических толкателей, биметаллического искривления двух металлов с разными коэффициентами термического расширения. Магнитострнк-ционные манипуляторы основаны на изменении размера стержня из никеля (или некоторых других магнито-стрикционных металлов) в магнитном поле. Все вышеупомянутые микроманипуляторы просты по конструкции и могут быть изготовлены в лабораторных условиях. спираль $ — объект » S — ТМТТТ манипулятора

На рис. 8.1 приведена конструкция одного из вариантов одноплоскостного микроманипулятора, основанного на принципе теплового расширения толкателей из меди. Достоинствами такого манипулятора кроме простоты изготовления являются широкий диапазон перемещений объекта, зависящий от длины толкателей и температуры их нагрева, а также возможность использования в высоком вакууме, в частности для перемещения объекта в электронном микроскопе.

Следует отметить, что прецизионный манипулятор можно использовать совместно с обычным микроманипулятором, например микрометрическим. В этом случае прецизионная приставка выполняет роль своеобразного «нониуса», обеспечивающего высокую точность перемещения на десятые и сотые доли микрометра. Если перемещение микрообъекта с требуемой точностью можно осуществить микроманипулятором, то перенос объекта осушеств636

ляется разными микропинцетами, действующими на основе различных физических принципов: вакуумными присосами, электро-статическими, магнитными и другими микропинцетами.

8.2.1. Электростатический пинцет

<Ч Ч \ ? у* \х|К*чч|

Одной из технологических проблем твердотельной электро ники и лабораторной микротехнологии является обеспечение бездефектного захвата малых образцов произвольной формы из хрупких материалов, особенно полупроводниковых и диэлектрических. В этих целях наиболее приемлемым является использование электростатического пинцета, захват образца которым происходит в результате электростатического притяжения. На рис. 8.2 приведен один из конструктивных вари

страница 202
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119 120 121 122 123 124 125 126 127 128 129 130 131 132 133 134 135 136 137 138 139 140 141 142 143 144 145 146 147 148 149 150 151 152 153 154 155 156 157 158 159 160 161 162 163 164 165 166 167 168 169 170 171 172 173 174 175 176 177 178 179 180 181 182 183 184 185 186 187 188 189 190 191 192 193 194 195 196 197 198 199 200 201 202 203 204 205 206 207 208 209 210 211 212 213 214 215 216 217 218 219 220 221 222 223 224 225 226 227 228 229 230 231 232 233 234 235 236 237 238 239 240 241 242 243 244 245 246 247 248 249

Скачать книгу "Технология лабораторного эксперимента" (8.88Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
курсы переподготовки специалист по кадрам уфа
Установка автосигнализации StarLine A92 Dialog CAN
пламегаситель лэнд ровер
влок детям противопоказания

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(07.12.2016)