химический каталог




Технология лабораторного эксперимента

Автор Е.А.Коленко

мер, обезжиривающие и промывочные жидкости, включая воду, должны быть значительно Чище обрабатываемой ими поверхности. Особенно низким содержанием примесей должны обладать промывочные жидкости для финишной промывки рабочей поверхности кристаллов, используемых в твердотельной полупроводниковой электронике.

Технологические газы, особенно нейтральные и благородные (азот, гелий, аргон), применяемые в качестве защитной среды, например при пайке легированных (коррозионно-стойких) сталей,

38* 595

должны содержать существенно меньше примесей кислорода "в паров воды, чем их содержится в баллонных газах.

В настоящей главе описаны технологические процессы и способы очистки в лабораторных условиях некоторых газов и жидкостей от примесей.

7.2. ОЧИСТКА ГАЗОВ

Необходимо особо подчеркнуть, что технологический газ должен использоваться сразу после очистки. В связи с этим в технологических линиях, использующих очищенный газ, установки очистки являются неотъемлемой частью технологического оборудования. Предварительная очистка и последующее хранение газа в газгольдере бесполезны, так мам газ вновь загрязняется парами воды, кислородом, азотом и другими компонентами окружающей атмосферы.

В число операций по очистке технологического газа входит удаление механических загрязнений — пыли. Это особенно важно в твердотельной полупроводниковой электронике, где при современной степени интеграции, достигающей 10е отдельных функциональных элементов на I см* площади кристалла, электроизоляционное расстояние между отдельными элементами равно 0,5—1 мкм, т. е. сравнимо со средним размером частицы пыли. Даже попадание одной частицы пыли на поверхность кристалла может привести к выходу всей структуры из строя.

7.2.1. Сжатые

в металлических баллонах

. Согласно Государственному стандарту все металлические баллоны, содержащие технологические газы под повышенным давлением, имеют строго определенную маркировку для обозначения характеристики газа. Элементами маркировки являются цвет баллона, цвет надписи названия газа и цвет полосы под надписью (табл. 7.1). При отсутствии какого-либо элемента маркировки газ из баллона использовать нельзя.

Допустимое объемное содержание примесей в баллонных технологических газах приведено в табл. 7.2. В среднем содержание газовых примесей в баллонных газах достигает 1 %: основную долю составляют пары воды — 80% от общего объема газовых примесей.

Особенно большое количество паров воды и даже сконденсированной воды находится в баллонах с кислородом. Иногда количество конденсата может достигать 0,2—0,5 л. Это обусловлено тем, что из-за несовместимости с маслом компрессоры, накачивающие кислород в баллон, смазываются водой.

При оценке содержания паров воды в газе следует учитывать, что оно зависит от давления газа в баллоне, т. е. 150 атм

896

Таблица 7J

ТемпермуСодержание паров воды

росы. "С коицмпрашшнное, иг/я овкмвее, %

0 4,88 0,602

— 10 2,35 , 0,282

—20 1,08 0,12430 0,46 0,053

~-40 0,177 0,019

_50 0,063 2,5. КГ' 0,0063

—60

2,6.10-"

—70 5.10"» 5.10-*

—80 ю-" 10*

_90 4.10-» 4-10-»

—100 2.1СГ» 2.10-»

Таблица 73 (1,52- Ю' Па). При дросселировании до 1 атм (1,01 х X 10* Па) содержание влаги в газе уменьшится в 150 раз.

Количество содержащихся в газе паров воды обычно выражается температурой точки росы. Эта температура соответствует началу конденсации водяного пара, сопровождающейся появлением на контрольной зеркальной поверхности водяного конденсата — росы.

В технических паспортах количество влаги в баллонных технологических газах указывается в объемных процентах или миллиграммах на метр (килограммах на кубический метр). В табл. 7.3 приведены соотношения между температурой точки росы и объемной и массовой концентрацией водяных паров, содержащихся в газе.

При нагреве (отжиге, пайке, плавлении) металлов или других материалов не должно быть никакого взаимодействия их с газовой средой, поскольку в кислороде, например, может произойти окисление, в водороде могут образоваться гидриды, в азоте — нитриды. Идеальной средой, химически не взаимодействующей ни с какими материалам!, является вакуум. Однако нагрев в вакууме, особенно до высоких температур, сопровождается интенсивным испарением и термической диссоциацией, что существенно усложняет (а подчас и исключает) использование нагрева в вакууме. От перечисленных недостатков свободен нагрев в атмосфере благородных газов высокой чистоты. В табл. 7.4 приведено содержание примесей в благородных газах технологического назначения и высокой степени очистки, выпускаемых промышленностью.

Естественно, что для работы с чистым газом аппаратура должна быть изготовлена из материала, не взаимодействующего с ним и, следовательно, не загрязняющего его, например, пылевидным! микрочастицами. В связи с этим газовый тракт нельзя изготавливать из алюминия или его сплавов, так как микрочастицы оксида алюминия, всегда присутствующие на поверхности, могут попасть в газ. Лучше всего газовый тракт изготавливать из коррозионно-стойкой

страница 189
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119 120 121 122 123 124 125 126 127 128 129 130 131 132 133 134 135 136 137 138 139 140 141 142 143 144 145 146 147 148 149 150 151 152 153 154 155 156 157 158 159 160 161 162 163 164 165 166 167 168 169 170 171 172 173 174 175 176 177 178 179 180 181 182 183 184 185 186 187 188 189 190 191 192 193 194 195 196 197 198 199 200 201 202 203 204 205 206 207 208 209 210 211 212 213 214 215 216 217 218 219 220 221 222 223 224 225 226 227 228 229 230 231 232 233 234 235 236 237 238 239 240 241 242 243 244 245 246 247 248 249

Скачать книгу "Технология лабораторного эксперимента" (8.88Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
ремонт холодильников веко на дому в москве дешево
снять автобус на свадьбу
билеты на спектакль последний шанс
как подкрасить значек на крышке богажника ваз 2110

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(22.07.2017)