химический каталог




Фотопроводящие окислы свинца в электронике

Автор В.А.Извозчиков, О.А.Тимофеев

—?,·) cos ?; и максимальна (для наиболее быстрорастущей грани) при tg ?? = = 2 tg (?—??). При малых ? это дает ?? = = 2/3 ?. Значения ?/2 ? В заключение приведем краткое описание оборудования и перечень следующих за напылением операций изготовления видикона по патентным данным.

На рис. 13 показана напылительная часть вакуумной установки. Необходимость надежной защиты окисносвинцового слоя от посторонних газов при изготовлении видикона привела к тому, что в отличие от технологии изготовления мишеней из других полупроводниковых материалов, менее чувствительных к окружающей газовой среде, напыление проводится на входное окно видикона, заранее приваренное к его цилиндрической оболочке (колбе). Колба своим открытым концом присоединяется к вакуумной установке и играет роль вакуумного колпака. Отказ от традиционного вакуумного колпака позволяет осуществлять защиту слоя от атмосферного воздуха при съеме колбы с вакуумной установки и окончательной сборке прибора путем заполнения колбы очищенным защитным газом. Арматура напылительного устройства состоит из платинового тигля, в который загружается испаряемая окись свинца, и подвижной заслонки, управляемой извне с помощью магнита и предназначенной для защиты входного окна от брызг расплава окиси свинца при ее плавлении. Для защиты стенок колбы от конденсации окиси свинца устанавливается стеклянный экранирующий цилиндр. Нагрев тигля осуществляется токами высокой частоты

Квакуумному насосу

Рис. 13. Схема устройства для напыления мишеней видиконов

1 — колба видикона; 2 — экран; 3 — вакуумный зажим; 4 — опора заслонки; б — патрубок для измерения давления; 6 — выводы термопары; 7 — капилляр для подачи газов; 8 — тигель; 9 — заслонка; 10 — водяная баня

44

при контроле температуры термопарой Pt—PtRh, приваренной к тиглю. Для повышения чистоты и точности поддержания состава газов в испарительном пространстве используется проточная газовая среда. Технологические газы (кислород и др.) вводятся в колбу по капиллярам при непрерывной откачке колбы. Пройдя через испарительное пространство, они удаляются из колбы, унося продукты газоотделения, оставшиеся после предварительного дегазирования колбы и арматуры. Значение потока технологических газов регулируется натекателями типа игольчатых вентилей. Для измерения давления технологических газов в испарительном пространстве к тиглю подводится открытым концом трубка, на противоположном конце которой расположены манометрические преобразователи. Температура входного окна в момент конденсации слоя поддерживается с помощью термостата. Простым и надежным способом термостатирования, обеспечивающим хороший съем с входного окна теплоты, выделяющейся в основном при конденсации слоя, а также поступающей от тигля в виде теплового излучения, является применение жидкостной бани, устанавливаемой на колбу с помощью резинового уплотнения. По окончании процесса напыления и обработок мишени колба видикона заполняется защитным газом, затем в скафандре, также заполненном защитным газом и предотвращающем загрязнение мишени атмосферным воздухом, в колбу вводится электронно-оптическая система видикона. После этого производится заварка видикона. Заваренный видикон поступает на пост финишной откачки, где производится его вакуумная обработка. Отпаянный видикон после тренировки термокатода подвергается первичным испытаниям и тренировке в условиях, близких к рабочим. В процессе тренировки в видиконе устанавливается равновесие между остаточными и адсорбированными на мишени газами, чем и достигаются требуемые светотехнические параметры.

8. Изготовление электрофотографнческнх слоев

Общие приемы изготовления ЭФС на основе РЬО не отличаются от тех, которые разработаны для производства широко применяемых в настоящее время слоев из .селена и окиси цинка. Это — получение слоев термическим осаждением фотопроводника на проводящую подложку, прессованием и спеканием порошка, пульверизацией или поливом взвеси тонко измельченного полупроводникового материала в связующем высокомолекулярном диэлектрике.

Первый светочувствительный элемент для ксерографии на основе красной РЬО был изготовлен в 1957 г. В. фон Дорном и Д. Ульрихом, а на основе желтой РЬО — через несколько лет Е. Аноликом. В СССР ранние исследования ЭФС РЬО были выполнены Э. Монтримасом и др. [7], а затем Ю. Ракау-скасом, В. А. Извозчиковым, В. И. Богословским и др. [2, 24]. К

страница 19
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61

Скачать книгу "Фотопроводящие окислы свинца в электронике" (1.48Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
купить букет гортензий по акции
Рекомендуем фирму Ренесанс - лестница наружная на второй этаж - качественно, оперативно, надежно!
кресло ch 993 low v
Магазин KNSneva.ru предлагает 101R00023 - Санкт Петербург, ул. Рузовская, д.11, парковка для клиентов.

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(10.12.2016)