химический каталог




Фотопроводящие окислы свинца в электронике

Автор В.А.Извозчиков, О.А.Тимофеев

при давлении смеси от Ю-1 до 2,7 Паи парциальном давлении Н20 от 20 до 80% полного давления; в) в той же смеси, но с повышенной температурой испарителя для увеличения интенсивности диссоциации РЬО и обогащения прослойки избыточным свинцом; г) в смеси кислорода и паров воды, предназначенной для напыления базовой области мишени. В последнем случае п-прослойка образуется за счет диффузии электронов из сигнальной пластины Sn02, имеющей высокую п-проводимость.

2. Базовая область мишени напыляется при той же температуре подложки, что и прослойка с электронной проводимостью, в средах: а) в смеси кислорода и водяного пара при общем давлении от 1,33· Ю-1 до 1,33 Па и содержании водяного пара от 20 до 80%, причем парциальное давление воды выбирается тем меньшим, чем больше общее давление; б) в кислороде при давлении около Ю-1 Па; в) в смеси кислорода и инертного газа, например аргона, при давлении 0,13—0,27 Па с последующим прогревом в смеси кислорода и паров воды при 573 К в течение 30 мин с целью создания однородной базовой области с проводимостью, близкой к собственной. Состав смеси кислорода и паров воды при напылении либо сохраняется постоянным, либо содержание водяного пара уменьшается через 40 с после начала напыления. На завершающей стадии напыления парциальное давление паров воды может быть сведено до значений, меньших 2,7¦ 10 3 Па, что об" легчает впоследствии формирование прослойки с дырочной проводимостью-Вода в газовой смеси может быть заменена на газ из группы H2S, H2Se и Н2Те. Из-за большой химической активности этих газов их парциальное давление при напылении слоя мишени, ее выдержке или термообработке в газовой среде должно быть значительно меньшим, чем парциальное давление водяного пара.

3. Для получения тонкой прослойки с дырочной проводимостью при использовании легирующего действия одновалентных элементов на поверхность мишени наносят тонкую пленку серебра или напыляют РЬО, заранее легированную таллием (вводится Т1203), ведущим себя в окиси свинца как одновалентная примесь. Предложено также легирование поверхности мишени кислородом. Для введения кислорода используют либо выдержку мишени в атмосфере кислорода над платиновым нагревателем с ? к, 1273 К, либо бомбардировку поверхности мишени ионами кислорода в тлеющем разряде. Используется и газоразрядная обработка в нейтральном по отношению к РЬО газе, например в азоте или инертных газах, с целью удаления из слоя избыточного кислорода, образовавшегося при напылении мишени.

При изготовлении мишени с повышенной чувствительностью к красному свету и излучению ближней ИК-области в приповерхностную область мишени путем обработки в сероводороде при давлении около 1,33· Ю-2 Па вводится сера. Толщина обработанной области составляет около 1,5 мкм. После введения серы на поверхности кристаллитов, образующих слой мишени, появляются соединения РЬ—S—О с оптическими энергиями активации 1,4; 1,05 и 0,8 эВ, определяющие чувствительность мишени к длинноволновому свету. Газоразрядная обработка в применении к мишеням, обработанным сероводородом, модифицируется: проводится несколько чередующихся обработок мишени сероводородом и нонами кислорода, при этом последняя среди этого цикла обработок обязательно должна быть газоразрядной.

Структурные характеристики слоев РЬО, получаемых в условиях, близких к технологическим условиям изготовления мишеней видиконов ?—?—n-фотодиодного типа, наиболее подробно изучались методами рентгеновского

41

структурного анализа [30, 32] и электронно-графическим методом [44]. В [30, 32] основные исследования проведены иа образцах, полученных термическим напылением РЬО в атмосфере кислорода при давлении 1,33 Па на подложку, находящуюся при 373 или 423 К, при скорости напыления около 0,1 мкм/с. В [44] исследован диапазон Тпод от 293 до 413 К при скоростях напыления от 2· Ю-4 до 0,1 мкм.

Электронно-микроскопические снимки показывают (рис. 11), что слои состоят из тонких кристаллических пластинок. То, что это именно пластинки, а не иглы, лежащие в плоскости поверхности слоя, подтверждено электронно-микроскопическим изучением поперечных разрезов слоев. При Тпод — 373 К длина пластинок (в направлении от поверхности слоя к подложке) составляет в среднем 2 мкм, ширина — 0,5 мкм. Наличие пустот между пластинками, отчетливо видимых на рисунке, объясняет относительно высокую пористость слоев — около 50% (поры занимают около половины объема слоя). Толщина пластинок определялась по удельной поверхности

Рис. 11. Электронно-микроскопические снимки (увеличение X 20 000) поверхности слоев РЬО, осажденных на подложку с температурой

(К): а) 373; б) 423

слоев. Для последней было получено значение 50 м2/г, что дает толщину пластинок 5 нм. Авторами совместно с Ж- И. Герасимовой, В. А. Козловым и М. Л. Галанцевой при измерении уширения рентгеновских дифракционных линий на аналогичных образцах для вертикально ориентированных пластинок была получена толщина 16 нм; для пластинок, ориентированных параллельно подложке — 9 нм. Размеры кристаллитов ув

страница 17
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61

Скачать книгу "Фотопроводящие окислы свинца в электронике" (1.48Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
мячи для мини футбола купить
аквапарк судак официальный сайт 2017
посещаемость концертов руки вверх в крокус сити
удаление вмятин на крыше автомобиля

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(22.07.2017)