химический каталог




Фотопроводящие окислы свинца в электронике

Автор В.А.Извозчиков, О.А.Тимофеев

предложить следующую последовательность операций.

Химически очищенные, промытые в спирте и в дистиллированной воде подложки из полированного стекла с покрытием Sn02 просушиваются при 473 К, а непосредственно перед осаждением слоя прогреваются около часа при 473—573 К " давлении остаточных газов в системе испарения я; 10—3 Па. РЬО осаждается со скоростью 100—150 нм/с при ? испарителя 1170 к на подложку с Тподй; 383 К при давлении осушенного кислорода 6,5—Ю-1 Па, Давление 02 поддерживается с помощью игольчатого натекателя, используемого в режиме непрерывной откачки системы. Приготовление слоя завершается двухэтапной термообработкой: а) прогревом в течение 60—90 мин при 545 ± 10 К и Р0 л (1,3 ^ 6,7)-103 Па; б) снижением ? до 400—420 К

с одновременной откачкой системы до я; 10 Па и выдержкой в этих условиях в течение 30—40 мин. На первом этапе осуществляется доокисление РЬОт и упорядочение ее решетки, что позволяет получать слои с воспроизво-

39

димыми свойствами; иа втором — удаление избыточного слабосвязанного кислорода, т. е. искусственное старение слоев с целью стабилизации их свойств. Слои состоят из микрокристаллитов, ориентированных преимущественно плоскостью (110) кристалла РЬОт параллельно подложке, и имеют проводимость, близкую к собственной. С использованием в качестве верхнего контакта Ag в омической области вольт-амперных характеристик (???) слоя (при напряжении до 10 В) кратность изменения сопротивления слоев при освещенности 100 лк составляет 40—50 от 4-Ю11 Ом в темноте. С целью изменения. СЧ полученные таким способом слои могут быть переведены либо в РЬОр термической обработкой в кислороде при давлении около Ю-1 Па и ? 623 673 К, либо —· в РЬ304 путем окисления в кислородной атмосфере. Значение оптимальной скорости нагрева для перехода пленки РЬО в РЬ304 путем отжига заключено в пределах 3—10 К/мин. Большая скорость ведет к неполному переходу РЬО в РЬ304, а меньшая — к увеличению пористости слоя. Время термообработки с оптимальной скоростью сокращается в 100—300 раз, если ее вести, начиная с 373 ± 5 К вплоть до 753 ± 5 К — температуры фазового перехода РЬО в сурик. При длительной термообработке при ? = 753 К получаются, как правило, пористые слои с сильно развитой поверхностью.

7. Изготовление окнсносвинцовых мишеней внднкоиов

Разработка видиконов с мишенями из окиси свинца имеет более чем 20-летнюю историю. В результате созданы видиконы с мишенями ?—?—?-диодного типа, которые в настоящее время являются лучшими передающими трубками для цветного телевизионного вещания, предъявляющего к ним комплекс высоких требований.

Мишень этих видиконов представляет собой толстый (до 20 мкм) поликристаллический слой РЬОт. В области, прилегающей к подложке (входному окну и сигнальной пластине видикона), содержится около 10% РЬОр. Мишень в направлении нормали к подложке делится на три области с различной проводимостью. К сигнальной пластине примыкает область с электронной проводимостью (толщина около 1 мкм). Затем идет базовая область мишени, занимающая почти всю ее толщину и имеющая квазисобственную или небольшую дырочную проводимость. На поверхности базовой области сформирована относительно тонкая (около 0,05 мкм) область с дырочной проводимостью.

В литературе нет данных о технологии изготовления мишеней ?—i—n-фотодиодного типа, но к настоящему времени опубликовано несколько десятков патентов сотрудников фирмы «Филипс» и ряда других фирм США, Франции, ФРГ, Японии, ГДР. Ниже рассматриваются предложенные в различных патентах способы изготовления мишеней.

В первых патентах на мишени с ?—р-переходом описаны способы, связанные с легированием РЬО одно- и трехвалентными элементами типа Ag и Bi или Си и Sb. Позже были предложены способы получения мишеней ?—?—?-диодного типа с широкой базовой областью. В некоторых из них сохраняются варианты изготовления мишеней с применением различных видов легирования, но основной упор делается на управление отклонениями от стехиометрии, приводящими к самолегированию областей мишени свинцом или кислородом, а также на получение мишеней, состоящих в основном из тонких кристаллитов РЬОт толщиной 5—10 нм. Ширина запрещенной зоны обеспечивает у видиконов нужную спектральную характеристику,, а малые толщины кристаллитов облегчают, как будет показано в § 19, получение квазисобственной проводимости у слоев РЬО. В другой группе патентов описаны способы защиты окнсносвинцовых мншеней, имеющих развитую поверхность, от воздействия атмосферного воздуха при сборке видиконов путем применения защитных сред из очищенных инертных газов, более легких, чем воздух (гелий), или более тяжелых (аргон). Предложено также применение азота—газа, пассивного к РЬО.

40

Из готовление мишеии ?—?—?-диодного типа с управлением отклонениями от стехиометрии может быть выполнено в соответствии с известными патента ми следующими способами.

1. Прослойка с электронной проводимостью напыляет ся при Тпод = 313 4- 463 К (преимущественно при Тпод = 393 К): а) в вакууме; б) в смеси кислорода и паров воды

страница 16
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61

Скачать книгу "Фотопроводящие окислы свинца в электронике" (1.48Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
компьютерный стол сокол кст-101 + кт-101.1 + кт-102
курсы фотошопа землчно
клоп-2 60 цена
frequency 55 toric ltitdj

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(09.12.2016)