химический каталог




Фотопроводящие окислы свинца в электронике

Автор В.А.Извозчиков, О.А.Тимофеев

асного цвета РЬОт и, наконец, удобные для иссле-

1 Как показали исследования электронного парамагнитного резонанса, проведенные В. В. Шапкиным, при использовании стальных шариков и пресс-форм керамика насыщается парамагнитными примесями Fe.

37

дований желтые кристаллы РЬОр в виде пластинок с размерами около 0,1 X 1 X 7 мм. Последние формировались при средней скорости охлаждения 6 К/ч с градиентом ? по высоте тигля * 2 К/см. РЬОт выпадала при 18-нормальной концентрации Na(OH), а РЬОр — при меньшей (16—18-нормальной). Крупные кристаллы имели удельное сопротивление вдоль направления [001 ] кристалла РЬОр » 5-(??1» ~ 1011) Ом-см, а вдоль [010] — на порядок ниже.

Таблица 7

Влияние фазового состава иа параметры спектральной чувствительности РЬО

Значение параметров для различных фа зовых составов Параметр РЬОр РЬОр рьот, %

светло-желтая лимонно-желтая 10 30 50 70—100

Положение максимума ФП Чакс нм 410—440 450—460 460 500—550 550-580 600—610

Полуширина кривой спектральной чувствительности 6?, им 30 32 40 134 190 140

Интегральная чувствительность в видимой части спектра ?, Sn = f ?? о. е. ?, 0,42 0,62 1,4 0,9 7,5 7,0

Темновая проводимость ?. См/м 6-10—13 5.10-U 6.10-Ю 10-9 4-10-9 ю-8

Фотопроводимость ??. См/м * ??— '—ю-9 Ю-9_10-8 410—7 6-10—8 з-ю—7 1,5-10—7

? 0", ?, % 10"—I О7 4,7-Ю5 4,6-10' 6-10» 5,3-103 5-10-

* В максимуме СЧ на эффективной глубине поглощения света d3^ = 1 а (где а — коэффициент поглощения света) при числе падающих фотонов Nh . « 10й квант с.

При гидротермальном синтезе используются [41] в качестве растворителей разбавленные Na (ОН) и Li (ОН). При 673 К и давлении 1,5-109 Па вырастили кристаллы РЬОт, а при давлении 2-10s Па — РЬОр. Наиболее крупные кристаллы РЬОр (8 X 8 X 0,5 мм) были получены из раствора Li (ОН) при 723 К и давлении 109 Па.

Тонкие слои РЬО могут быть получены как окислением предварительно осажденных в вакууме пленок РЬ, так и термическим осаждением окиси свинца. Слои могут быть получены также методом катодного распыления РЬ в газовой смеси Аг и 02. Окислением РЬ нельзя получить слои толще 10 мкм из-за существования предельной толщины окалины (гл. 1).

При испарении РЬО молекулярный поток имеет сложный масс-спектр, соответствующий испарению по схеме: РЬО (тверд.)РЬ„0„ (газ), где п = 1 4, с преобладанием в газовой фазе тетрамера РЬ404~ [22 ]. Для парциальных давлений пара над РЬО (Рх, где ? — РЬ, РЬ,гО„) в интервале ? = = 1073 -=- 1223 К получены зависимости вида: log Рх = (— А/Т) + В, параметр которых ? и постоянные А, В представлены в табл. 8.

Во избежание обогащения пленок свинцом, присутствующим в паре, необходимо вести испарение при температуре, незначительно превышающей

38

точку плавления (1161 К) в кислородной атмосфере с давлением не ниже 1 о—1 Па. При Po2Общие технологические приемы изготовления слоев предусматривают химическую, термическую и ионную очистку подложек, откачку системы испарения до достаточно низкого давления с последующим напуском кислорода или созданием специальной газовой среды и, наконец, испарение РЬО, легирующих примесей и нанесение электродов. Особые требования предъявляются к испарителю, так как окись РЬ легко восстанавливается до металлического РЬ при реакции с металлами, обычно используемыми в качестве нагревателей (W, Мо, Та), или с углеродом. При нагревании, и особенно в расплаве, она вступает в реакцию с кварцем, образуя кремнекислый свинец. Поэтому в качестве испарителей рекомендуется использовать платиновые пряыонакальиые лодочки или тигли с индукционным нагревом.

Таблица 8

Параметры А и 8 для компонентов пара над РЬО

Значения параметров для различных составов пара ?

Параметр рь рьо рьаоа рьа рь,о4

А, К 13 038 13 176 13 509 12 156 13 470

В, О. е. 11,52 10,07 10,64 8,5 11,3

Склонность окислов РЬ к полиморфно-гетерофазным образованиям и сильная зависимость от факторов, действующих при напылении (температура подложки 7,Под, параметры газовой среды, скорость конденсации и т. п.), затрудняют получение слоев заданного фазового состава. Тем не менее условия, в которых можно получить близкие к монофазным слои РЬОт или РЬОр, в настоящее время определились. Например, испарением РЬО при давлении остаточных газов в системе 4-Ю-2 Па при комнатной ТПОд получены слои РЬОр, а при Гпод = 473 К — РЬОт [12].

Пригодные для оптических исследований в ультрафиолетовой (УФ), видимой и ближней ИК-областях спектра слои получены [40] на кварце, Вк-7- и KBr-стеклах, подвергавшихся ионной поверхностной очистке. Слои РЬОр толщиной 250—700 нм осаждались при давлении 2- Ю-2 Па со скоростью 3 нм/с, а РЬОт — при давлении 4-Ю-3 Па при Гпод = 368 488 К со скоростью осаждения 0,55 нм/с.

С целью приготовления монофазных слоев РЬОх можно

страница 15
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61

Скачать книгу "Фотопроводящие окислы свинца в электронике" (1.48Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
электрический умывальник для дачи без тумбы
шашечки на крышу такси
запуск чиллеров hidria
Бортик для кровати универсальный Nattou Max, Noa & Tom 777483

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(27.05.2017)