химический каталог




Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры

Автор Н.К.Иванов-Есипович

ле 1 (1,0—1,3 мкм)

Жидкую ФПК наносят вытягиванием или центрифугированием. Метод вытягивания- основан на вертикальном погружении пачки подложек, закрепленных в кассете, й медленном вытягивании с нарастающей скоростью при стабилизированной температуре и вязкости. Нарастающая скорость вытягивания необходима для ослабления клинообразного утолщения слоя в нижней части подложки из-за сползания жидкости вниз. Важно исключить при вытягивании вибрацию подложек от приводных двигателей. Образование мениска между близко расположенными подложками мейяет условия смачивания и удержания пленки на поверхности подложки. Поэтому важен выбор зазора между подложками в кассете. Вытягивание производят дважды в противоположных направлениях, с промежуточной сушкой 20 мин. Скорость вытягивания 10 мм/с при вязкости 11 с по ВЗ-4 (ГОСТ 9070—75). Расход ФПК при методе вытягивания составляет 3 мг/дм2 для толщины 50 мкм. Кассетный способ обеспечивает высокую производительность в отличие от индивидуального вытягивания каждой подложки, но возможен только в тех случаях, когда нет необходимости при последующей сушке подвергать терморадиационному нагреву каждую подложку. Метод вытягивания обеспечивает толщину пленки с точностью ±20% в пределах значений толщины 10—70 мкм. центрифугирование как метод нанесения позволяет получить наиболее тонкую пленку (от 0,3 мкм), что необходимо в случае высоких требований по разрешающей способности и точности.

формирование пленки при центрифугировании основано на вязком течении лака под действием центробежных сил. в начальной стадии центробежные силы заставляют пленку лака распределяться по поверхности тонким слоем (0,3—2 мкм). эта стадия длится не более 15 с и сама постепенно завершается по мере застудневания лака и испарения- растворителя. на этой стадии может появиться вредный эффект «лучевого разбега» в виде полос от центра к периферии. лучевой разбег — типичное явление при центрифугировании в нарушенном режиме, когда высокая скорость вращения (и, следовательно, значительные центробежные усилия) сохраняется за пределами текучей стадии. в результате образовавшаяся на поверхности тончайшая пленка разрывается в отдельных местах. ее частицы скользят по еще текучим нижним слоям, оставляя неровности. лучевой разбег можно исключить при ударном выходе на скорость 5000 об/мин с выдержкой при этом значении 15 с, плавным пятикратным замедлением за 15 с с последующим выключением двигателя. приведенные значения уточняют в зависимости от интенсивности испарения применяемого растворителя и вязкости.

нанесение происходит в центрифуге, внутрь которой подается сухой обеспыленный воздух с влажностью до 40%. центрифуга должна иметь вакуумные присоски для закрепления подложек и защиту шарикоподшипников от попадания фпк. подложки закрепляют на столике в центрифуге и наносят фпк с помощью шприца, содержащего фильтр для фильтрации от микрочастиц размером 1 мкм. необходимо до начала центрифугирования выдержать жидкий слой несколько секунд для самостоятельного всплывания воздушных пузырьков. существенно, чтобы вращение начиналось с очень большим ускорением, толчком, потому что именно в начальный момент вязкость слоя наименьшая. плавный набор скорости приводит к получению неравномерной толщины.

для получения максимальной разрешающей способности толщина слоя должна быть минимальной, но это ведет к увеличению вероятности проколов, поэтому оптимальная толщина составляет 0,3 мкм. часть проколов вызывается взвешенными в жидкости пылинками, попавшими в фпк перед нанесением. остальные проколы вызваны пылинками, попавшими во время центрифугирования: воздух из-за трения о вращающийся столик отбрасывается от центра, в результате чего пылинки с силой внедряются в пленку.

возможен дефект слоя, вызванный самозагрязнением из-за образования нитей из удаляемой фпк, вновь налипающих на слой при турбулентных завихрениях воздуха. необходимо сдувать нити направленным потоком воздуха внутри центрифуги (рис. 76). общим недостатком метода центрифугирования является непроизводительный расход фпк, 80% который сбрасывается на стенки центрифуги.

процесс удаления растворителя (ii стадия) играет важную роль в образовании пленки. на поверхности подложки закрепляются наиболее активные группы макромолекул. сами макромолекулы, свернутые в клубки, должны плотно расположиться на поверхности так, чтобы незакрепленные части молекулярной цепи были направлены вверх в раствор. при таком положении их свободная энергия минимальна. для этого требуется низкотемператур Рис. 76. Способ подавления эффекта образования «нитей» при центрифугировании жидкой ФПК. Центрифугирование без периферийного поддува (а) и при поддуве (б): * — подача жидкой ФПК; 2— траектория движения оторвавшихся от поверхности частиц жидкой ФПК в виде нитей; 3—направление поддува обеспыленным воздухом; 4 — стол центрифуги с обрабатываемыми подложками

ная выдержка. следующая затем ик сушка (80° с) обеспечивает удаление растворителя и развивает процесс пленкообразования. на этом этапе не следует

страница 85
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91

Скачать книгу "Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры" (2.57Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
искусственные цветы на свадебную арку купить
твердотопливный котел длительного горения цена отзывы
мистери с выдвижным экраном
диван-качели для дачи своими руками

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(02.12.2016)