химический каталог




Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры

Автор Н.К.Иванов-Есипович

для накатки (ламинатор) должна работать в специальном обеспыленном помещении (гермозона).

Рис. 72. Сухой способ нанесения светочувствительного слоя на фольгированный материал: / — приемная бобина для отделяемого внутреннего защитного слоя; 2 — отделительный валик; 3 — нагреваемая колодка; 4 — фольга; 5 — подложка; 6—подающая бобина с рулоном светочувствительной плен кн; 7 — полиэтиленовая пленка (внутренний защитный слой); 8~ окрашенная основа светочувствительной пленки со слоем негативного фоторезиста, расположенного со стороны пленки 9; 9 — полиэти-лентерефталагная пленка (наружный защитный слой); 10—прижимной валик

Экспонирование производят через фотошаблон, не отделяя верхней прокладки, которая защищает тонкий слой ФР от повреждений при экспонировании. При этом образуется зазор в 25 мкм между фотошаблоном и слоем ФР. Чтобы избежать искажения размеров из-за рассеяния света в зазоре, необходимо применять строго параллельный световой поток. При использовании ртутной лампы высокого давления 1IPK-7 или ДРШ-1000 с излучением 0,35 мкм экспозиция составляет 60 с в установке с интенсивным водяным охлаждением. После экспонирования для завершения темновой фотохимической реакции необходима выдержка при комнатной температуре в течение 30 мин перед удалением верхней защитной пленки. Обе защитные пленки уничтожают из-за наличия на них следов токсичного фоторезиста, вызывающего раздражение кожи.

Проявление производят жидкой струйной обработкой при комнатной температуре. В зависимости от органической пленочной основы сухого ФПК для проявления применяют 0,15%-ный раствор NaOH [100] или хлорированные углеводороды (например, метил-хлороформ). При этом вымываются незасвеченные участки и под ними растворяется пленочная основа. Чем тоньше основа, тем слабее краевой эффект — растворение под краем слоя. Для снижения краевого эффекта необходимо контролировать температуру, давление струй растворителя и продолжительность (10—75 с) [101]. Гидравлическое давление остро направленных струй облегчает удаление продуктов растворения из засвеченной зоны.

189

При проявлении в агрегате перемещение подложки идет по принципу встречного потока—обработка начинается в отработанном растворителе и заканчивается в свежем. Тщательная завершающая промывка прекращает процесс растворения.

В рассмотренном применении сухой ФПК заложено важное производственное преимущество —нанесение тонкой (1 мкм) и строго равномерной бездефектной пленки ФР на большую площадь возложено на специализированное химическое предприятие. Централизованное изготовление сухой ФПК позволяет организовать крупные масштабы производства и применить дорогостоящее технологическое оборудование с высоким техническим уровнем и надежной защитой обслуживающего персонала. В состоянии поставки (в рулоне) пленка может храниться год.

К недостаткам сухой ФПК следует отнести:

1) ограниченную разрешающую способность —10 линий/мм,

что связано с наличием при экспонировании верхней защитной пленки и при проявлении — пленки основы;

2) необходимость приложения механического усилия при накатке, что не всегда допустимо для подложки (например, в случае ситалловой подложки).

Жидкая ФПК. В тех случаях, когда недостатки сухой ФПК оказываются решающими и ее применить нельзя, используют жидкую ФПК- Химические предприятия выпускают жидкие ФПК со стандартными свойствами. В, инструкции, прилагаемой к ФПК, указываются апробированные ме. тоды нанесения, сушки, экспонирования, определены возможные области использования и гарантируемые (при выполнении инструкции) результаты. ФПК выпускается в наборе с проявителем, раствором для разбавления и красителем для визуального контроля качества проявления (иначе слой плохо виден на подложке).

Разброс вязкости ФПК приводит к отклонениям толщины слоя (рис. 73), поэтому необходимо следить за величиной вязкости при нанесении на подложку, стабилизируя температуру (рис. 74) и выбирая соответствующую скорость (рис. 75 [103]. Следует постепенно добавлять растворитель до достижения заданной вязкости, все время контролируя ее при стабилизированной температуре, а не ограничиваться соблюдением рекомендуемого соотношения (в соответствии с паспортом на партию). Во многих случаях на основе

190 стандартного поставляемого фоторезиста создают жидкие композиции, отвечающие конкретным требованиям: повышенная травителе-стойкость, улучшенные адгезионные и другие технологические свойства [102].

Изменение свойств жидкой ФПК при переходе из жидкого состояния в твердое и образование маски происходит по мере прохождения пяти стадий: нанесения слоя, удаления растворителя, экспонирования, проявления и закрепления. Наибольшую трудность представляет нанесение жидкой пленки с большой равномерностью и однородностью. Для этой операции строго контролируют вязкость наносимого состава. Работу необходимо проводить в гермозоне.

поб/мин-103

2 3 4 5 и. м'.'с Ю6

Рис. 75. Соотношение скорости центрифугирования и вязкости жидкой ФПК для получения значений толщины слоя в рабочем интерва

страница 84
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91

Скачать книгу "Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры" (2.57Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
кресло руководителя rt-806 купить
IS-477
изделия из листового металла
Мебельная ручка 15134Z10000.L09

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(09.12.2016)