химический каталог




Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры

Автор Н.К.Иванов-Есипович

яется шламообразование. например, при травлении никеля в h2so4 и нс1 образуется труднорастворимый шлам. удаление его из зоны травления происходит при введении в раствор пав, например, 50%-ною раствора оп-10 в уайт-спирите (керосин высшей очистки) [65].

электрохимическое травление основано на анодном растворении при электролизе. оно позволяет проводить процесс в малоагрессивных растворах (табл. 15), обеспечивает высокую скорость процесса и простоту управления скоростью путем изменения плотности тока (Da=0,l—0,5 А/дм2) при уменьшенной чувствительности к концентрации электролита.

Основным принципом при выборе электролита для электрохимического травления является способность ионов раствора давать прочные комплексы с ионами, образующимися при ионизации атомов металла в процессе электролиза. В качестве электролита часто используют раствор кислоты, который служит нерасходующимся транспортирующим агентом для ионов металла, с добавлением комплексообразователя и смачивателя [66].

При электрохимическом травлении непосредственно у поверхности травящегося анода образуется тонкий (около 20 мкм) слой • электролита повышенной вязкости, содержащий растворенные продукты. Этот слой обладает значительным электрическим сопротивлением, в результате чего электролит нагревается. С нагревом на каждые 10° С скорость травления возрастает на 10 мкм/мин. Растворенный металл осаждается на катоде в виде шлама и локализуется там на шламоуловителях.

Для обеспечения равномерности травления по площади анода необходимо хорошее смачивание поверхности. В качестве смачивателей применяют спирты, например вводят до 20% я-бутилового спирта С4Н9ОН [67].

Электрохимическое травление тонких пленок на изоляционных подложках проводят, постепенно погружая их в электролит. В противном случае процесс травления локализуется непосредственно у контакта зажима электрода из-за повышенного электрического сопротивления тонкой пленки. Чтобы исключить влияние границы электролит — воздух, на поверхность электролита наливают слой несмешивающейся с ним диэлектрической жидкости, защищающей от действия кислорода воздуха.

Локальное химическое травление меди в производстве печатных плат. При изготовлении печатных плат субтрактивным методом локальное химическое травление меди производят через маску. Применяют маску двух видов — органическую из фоторезиста и металлическую из сплава ОС-61. Во втором случае процесс травления должен быть селективным.

Обеспечение точности и разрешающей способности рисунка, получаемого в результате травления, усложнено эффектом подтрав-ливания под край маски, которое обычно не меньше толщины фольги Д^гА (рис. 36).

Значительно уменьшить подтравливание (в два и более раз) можно, используя ингибиторное (защитное) действие ПАВ в случае струйной или пенной подачи раствора на обрабатываемую поверхность. Механизм селективного ингибирования торцов фольги у края маски объясняется следующим. Благодаря сопутствующему механическому действию тонких струй или бурлящей пены раствора травление в пробельных местах совмещено с интенсивным удалением шлама с открытой поверхности. В условиях гидродинамического воздействия молекулы ПАВ не удерживаются на участках фольги, перпендикулярных потоку. Иная картина наблюдается

116

вдоль кромки пробельного участка. Здесь образуется «карман» со» значительно меньшей подвижностью жидкости. Это создает благоприятные условия для адсорбции ингибитора и позволяет сократить глубину подтравливания до Д=^0,5 h.

При струйном травлении применяют форсунки неподвижные или качающиеся. При неподвижных форсунках есть вероятность, что струя не попадет в пробельный участок, особенно в случае мелкого рисунка, что приводит к появлению недотравленных участков. При качающихся форсунках вероятность этого вида брака уменьшается, но появляется зависимость селективного ингибирования в длинных и узких щелях от их ориентации относительно плоскости качания форсунок.

Оборудование для струйного травления представляет собой конвейер, несущий платы горизонтально, лицевой стороной вниз при расположении форсунок снизу (рис. 37). Применение конвейерной подачи плат в зону травления оправдано при крупносерийном производстве, но менее удобно при обработке мелких серий плат разного формата и рисунка. Продолжительность воздействия травильного раствора определяется скоростью движения ленты конвейера.

Пенное травление (рис. 38) отличается интенсивным протеканием процесса благодаря обильному поступлению кислорода воздуха в зону травления и ненаправленным проникновением пены

Рис. 37. Схема агрегата струйного травления с добавляемой секцией (изображена пунктирной линией) при удвоении скорости конвейера

в пробельные участки. Пену образуют с помощью сжатого воздуха, подаваемого в раствор через барботер, причем в состав раствора вводят пенообразующее ПАВ. Барботер представляет собой титаноП7

?вую перфорированную трубу с заглушкой. Диаметр отверстий до 1 мм. В мелкосерийном и многономенклатурном производстве изделия подают в зону травлен

страница 48
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91

Скачать книгу "Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры" (2.57Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
москва определить подсудность
Фирма Ренессанс: к 001 лестница- быстро, качественно, недорого!
карусель во двор цена
рамки под номер

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(09.12.2016)