химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

ль, образуемая двигающимся персоналом, сразу же удалялась.

Для уменьшения попадания пыли в производственные помещения работники технологических переделов (основные и вспомогательные) перед входом в помещение переодеваются в специальную одежду и по чистым галереям (коридорам) проходят в зону обдува (специальное изолированное место перед входом в технологический зал), где интенсивным потоком воздуха микрочастицы пыли удаляются с одежды. Только после этого работник попадает в производственное помещение.

Если необходимо создать особо чистые условия производства, то непосредственно на рабочем месте устанавливают локальные стерильные зоны (боксы). Очищенный воздух перед подачей в бокс проходит дополнительную сверхтонкую очистку. Это обеспечивает . уменьшение пыли на рабочем месте в 10—100 раз.

Степень чистоты в производственном помещении зависит от различных факторов и выражается следующим уравнением [267, 268}:

6QG г / akt «

n" akV U-exp 1~8б"Л.

где л - число частиц пыли, находящихся в 1 м3 воздуха за отрезок времени t (мин); V — объем чистого помещения, м3; к - число воэдухообменов чистого помещения за 1 ч; С — общее число частиц, поступающих за 1 мин в воздух чистого помещения; a ~ эффективность фильтров.

Чистоту контролируют специальным прибором, АЗ-5 (счетчиком частиц пыли размером ^ 0,5 мкм). Работа счетчика основана на рассеянии света отдельными частицами. На основе количественной связи между размером частиц и интенсивностью рассеянного света проводят автоматический расчет количества частиц. Данные о количестве частиц выводятся на прибор, указьшающий их концентрацию. Диапазон измерения концентрации пыли составляет 1—300000 частиц на 1 л. Благодаря своей компактности прибор удобен в эксплуатации и легко может быть перенесен одним человеком. После включения в заданном месте помещения через 1 мин на шкале прибора указывается количество пылинок в 1 л воздуха.

Важным элементом является регулярная влажная уборка помещения. Рекомендуется, например, ежесменно протирать оборудование, два раза в смену мыть полы, один раз в месяц протирать (мыть) стены и оконные проемы.

336

Глава VI. ВСПОМОГАТЕЛЬНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ГАЗЫ И ОБОРУДОВАНИЕ

1. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ГАЗЫ

Рассмотрим важнейшие способы производства кислорода, водорода, азота, аргона, гелия и хлора с показателями,удовлетворяющими требованиям технологии полупроводникового кремния (табл. 11).

Следует отметить, что качество кремния, а часто и просто возможность обеспечения выпуска того или иного вида продукции зависят от степени чистоты применяемых газов. По этой причине особое внимание уделено именно методам тонкой очистки газов от основных примесей. Для определения чистоты газа обычно пользуются единицей lppmV [~ I-I0"4 % (объемн.)] либо lppbV h Ы0"6 % (объемн.)]. В настоящее время требования к чистоте газов постоянно повышаются.

Можно отметить [269] несколько уровней обоснования требований к высокочистым газам. Первый из них - качественный и заключается в указании примеси или группы примесей, от которых необходимо очищать газ.

Следующий уровень - это указание концентрации примеси, начиная с которого обнаруживаются нежелательные эффекты или явления при получении материала с использованием газа.

Получение высокочистого водорода

Наиболее широко высокочистый водород применяется при получении поликристаллического кремния в процессе водородного восстановления хлорсиланов, наращивании эпитаксиальных слоев в тех же процессах, в качестве технологической среды при выращивании монокристаллов кремния, при низкотемпературной ректификации силана.

Особенность водорода - высокая химическая активность. Вместе с кислородом или воздухом он образует взрывчатую смесь [пределы взрываемости водорода в смеси с воздухом 4-75, с кислородом 4,1-96 % (объемн.)]. Контакт даже жидких водорода и кислорода приводит к взрыву. Эти свойства водорода обусловливают необходимость применения специальных мер для безопасной эксплуатации всех установок по получению и очистке водорода.

Наиболее распространенными методами получения водорода являются каталитическая конверсия углеводородов, метод неполного окисления углеводородов, электролиз воды [270, 271]. Каталитическая конверсия углеводородов основана на реакции взаимодействия углеводородов с водяным паром. Исходным продуктом является метан (природный газ), но могут быть использованы и другие углеводороды.

Реакция СН4 + Н30 = СО + ЗН2 проводится при атмосферном или

337

д ? «=>" вс ( э

Я «л «о « ( "*

S S 8 R Д \

Г «1 Й ?1 m

М <п Л

^. м Г*1

о о

== в о

сч en

о !5 « S •*

а * s 2 ? я

м s g s

О О

оо m о о л

S" 3. g « ^ s я « «

s S 5 8 s s а а

<-* об os gjvo,

3 В Я oSSS

Ж 8 ч •» 3 s й 2 S са е а

8 я; <-> ?* ° s

этим получают также кислород с содержанием основного компонента 99,6+1 % (объемн.).

Несмотря ла высокую энергоемкость этого процесса, он широко применяется в системе газоснабжения производ

страница 98
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
гидроскутер с подвесным с музокой блетузом от 6000
ручка скоба для двери
кашпо дельта 30 белое с системой полива
опасна ли склеродермия

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(22.07.2017)