химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

ого по показат ниям прибора, измеряющего давление в камере.

После откачки воздуха из камеры выращивания проверяют натека-ние, являющееся важнейшим показателем состояния оборудования. Натекание должно составлять < 1,33 ? 10"*-6,65 • 10"4 Па-м'-с"1. При более высоких значениях натекания необходимо найти (при помощи гелиевых течеискателей различной конструкции) и устранить течь. Кроме вакуумных течей, возможно также образование микротечей воды по внутренней поверхности камеры, которые обнаруживаются визуально.

Система подачи инертного газа в камеру должна быть герметичной и находиться под давлением до 1,72 • 105 Па. Она не должна иметь течей; ее исправность проверяется обмыливанием узлов и соединений. В электроприводах установки используются беэвибрационные двигатели.

267

кварца и воды. Суспензию заливают в гипсовые формы (шликео)

™f 0ТСасывАается и образуется кварцевый черепок?

размеры и конфигурацию гипсовой формы - заготовку издали!

™нГ влВ^ Т*™ опер*** су^ки" „ п~

ofin^Tv-n Г" °СЛе ЭТ0Г0 0На проходит высокотемпературную обработку; получается прозрачный кварцевый тигель [170]

довДбиТого™цГН°ЛОГИИ тт В°~СТЬ —

Природный кварц Дробление

кварцевая крошка \

Помол

Кварцевая пиль .

Травление.

ПорошокСашка, прокалка

Напыление кварцевых блоков

' ? кварцевые блаки- Триба кварцевая -\

'вытягивание

. донней части

тигля^ Получен ие заготовок триб

обработка

Шальцовка заготовки с торца Заготовка -приварка донной части к заготовке

Заготовка тигпя

кварцевый тигель 02SOrtrf - am ж иг кварцевых

И9

Tern pa хлорид кремния /отходы процесса получения поликристаллического кремния)

Получение литых _ кремниевых изделий

Водород кислород

Синтез диоксида кремния на формообразодвтеле (станок напыления!

Напыленная заготовка 1~фшми) \

Термообработка заготовки, теряоусодачное маллцрование (печь остеклодыЯания)

1

Резка и of работка кромок тигля /станок резки и шлиаговки-полуавтомат)

Тигель

Травление (установка травления) кварцевый тигель ~ФШмм

Продолжение рис 126

Синтетические кварцевые тигли получают, как правило, методом парофаэного гидролиза тетрахлорсилана (рис. 126, б). Этот метод обеспечивает большую чистоту изделия по содержанию микропримесей. Сущность метода заключается в том, что на формообразователи, имеющие конфигурацию тигля и выполненные из жаро- и кислотостойкого материала (никель, силицированный графит, литой кремний), напыляют диоксид кремния, который образуется в факеле горелки за счет парофаэного гидролиза тетрахлорсилана в низкотемпературной водородно-кислородной плазме. Факел формируется при сжигании горючего газа в кислороде. На формообраэователе образуется слабо спеченная заготовка из синтетического двуоксида кремния, которая подвергается затем термической обработке в печи при низком давлении; в результате диоксид кремния переходит в стеклообразное состояние (остекло-вывание).

После термической обработки остеклованные заготовки нагреваются кислородно-водородным пламенем и раздуваются до получения тиглей требуемого диаметра [171].

Полученные тигли подвергают механической обработке: резке и шлифовке торцов для достижения заданных размеров, а затем кислот270

ной обработке в плавиковой кислоте для удаления слоя толщиной до 100 мкм (см. рис. 126, б).

Содержание микропримесей в таком тигле значительно ниже, чем в тиглях из природного кварца, и составляет, не более, ррт: А1203 0,1; Fe203 0,5; СаО 0,8; ТЮ2 0,1; В 0,005; Сг20 3 0,04; СиО 0,01; МпО 0,02; N10 0,02. Содержание группы ОН" * 15-20 рргл.

Эта технология имеет существенные недостатки, особенно при использовании в качестве плазмообразующего природного газа, а в качестве материала-формообраэователя - силицированного графита.

Технология получения силицированного графита сложная и трудоемкая. Она включает помол и рассев графита, формование заготовки с добавкой пека и последующий отжиг заготовки для удаления летучих составляющих пека с получением пористого графитового изделия, которое вместе с кремнием поступает в печь силицирования. В печи силицирования при температуре 2273-2773 К кремний плавится, пропитывает графит, взаимодействует с ним с образованием карбида кремния и заполняет поры. В результате получается изделие из силицированного графита, которое после доводки алмазным инструментом используется в качестве формообразователи.

Для получения кварцевых тиглей, используемых в технологии кремния, наиболее изученным и разработанным в промышленном масштабе является метод получения мелкодисперсного диоксида кремния разложением в паровой фазе хлоридных соединений кремния (например, тетрахлорсилана) в присутствии воды (высокотемпературный парофазный гидролиз) в водородно-кислородном факеле. Этот метод широко распространен в производстве синтетического кварцевого стекла и тиглей на его основе.

В соответствии с современными представлениями сущность высокотемпературного парофаэного гидролиза заключается в том, что в факеле горящего водорода при ~ 1500-1800 °С протекает с большой

страница 78
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
автобусы в аренду с водителем москва
купить форму умбро москва игровую цены
Happy Hop 9403
управляющий модуль acm-t1kr105-e17

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(27.03.2017)