![]() |
|
|
Технология полупроводникового кремнияпосле одного прохода зоны в процессе бестигельной зонной плавки в вакууме существует довольно тесная взаимосвязь (рис. 102). Другими словами, величина УЭС монокристаллических лучей может быть простым экспресс-методом для оценки уровня донорных примесей в кремниевых стержнях. Требования к материалам для производства поликристаллического кремния Необходимым условием получения поликристаллического кремния заданной степени чистоты является использование исходных материалов с определенными характеристиками. Требования к чистоте исходных материалов выработаны в течение длительного изучения влияния их свойств на параметры поликристаллического кремния. Эти требования постоянно ужесточаются. На отечественных предприятиях для производства поликристаллического кремния используют трихлорсилан с содержанием бора < 6 • 10"' % (предел чувствительности метода), фосфора < 1 ? 10"" %, металлических примесей < I ? 10" 7 %. 229 Увеличение содержания микропримесей в трихлорсилане приводит к ухудшению качества поликристаллического кремния, что осложняет его переработку на металлургических переделах. Как уже указывалось, контроль качества трихлорсилана, осуществляемый, как правило, с помощью химико-спектрального метода, не в полной мере характеризует его пригодность для производства поликристаллического кремния, так как этим методом не получают данных о форме нахождения примесей в трихлорсилане, и содержание многих из них ниже предела обнаружения метода. Поэтому наряду с химико-спектральным методом используют кварц-тест. Наилучшие результаты при производстве кремния дает использование трихлорсилана, кварц-тест, имеет УЭС > 2000 Ом • см п-типа. Водород, используемый при осаждении кремния, должен содержать кислорода < 0,004 % (обьемн.) и паров воды =« 4 • 10"6 кг/м3, что соответствует точке росы ? 208 К. На наличие других примесей анализ не проводят, но в то же время в водороде могут появляться примеси углеводородов концентрацией l,I-5,2ppm, ааота 2-10 рргл и др. Эти примеси также оказывают влияние на качество поликристаллического кремния, поэтому эпизодически их содержание в водороде контролируют. Предельное количество каждой из указанных примесей не должно превышать 0,05-0,1 рргл (предел чувствительности существующих в настоящее время методов контроля). Увеличение содержания влаги и (или) кислорода в водороде приводит к появлению в кремниевых стержнях включений оксидов, что резко повышает хрупкость стержней и вызывает кипение расплава при дальнейших операциях выращивания монокристаллов. Повышенное содержание примесей углеводородов в водороде приводит к увеличению концентрации углерода в кремниевых стержнях. Графит, используемый в технологии получения поликристаллического кремния, не должен уступать по качеству марке МГ-1 по ТУ 48-20-90-82 и иметь плотность > 1,65 г/м3. Повышенное содержание микропримесей в графите также приводит к получению невоспроизводимых результатов при контроле кремниевых стержней. Уменьшение плотности графита, связанное с повышением пористости, является причиной плохого срастания кремниевого прутка-подложки с графитовым держателем, что может вызвать неустойчивость и падение кремниевых стержней. Важным для получения высокочистого поликристаллического кремния являются и требования к материалу, из которого изготовлен реактор. Испытания нержавеющих сталей при 373-773 К в условиях воздействия на них хлорсиланов и хлористого водорода показали [145], что реактор и ряд других деталей установки водородного восста230 новления наиболее целесообразно изготавливать из хромоникель-молибденовой стали марок 10Х17Н13МЗТ или 06ХН28МДТ. Основные технологические операции при промышленном получении кремниевых стержней и их роль в обеспечении качества Полученный водородным восстановлением хлорсиланов поликристаллический кремний выпускают в виде стержней диаметром 0,03-0,17 м и длиной > 0,45 м. КЛ2Т КПЗТ КП4Т" 3000 1000 2000 200 50 200 Ю16Т" КП7Т Кд^.з В зависимости от уровня чистоты, определяемого по величине . УЭС слитка, полученного бестигельной зонной плавкой контрольного стержня после одного прохода в вакууме или аргоне (уровень чистоты по донорам), либо после 6-8 проходов в вакууме (уровень чистоты по бору), кремний подразделяют на девять марок по ТУ 48-4-319-86. Марка кремния .. КЛОТ*1 КП1Т Уровень чистоты по примеси, не менее, Ом • см: бора (р-тип) .. 5000 3000 донорной (л-тип) 1000 400 5000 300 3000 300 1000 3-100 Марка кремния .. КТГ5Т*3 Уровень чистоты по примеси, не менее, Ом - см: бора (р-тип) .. 10000 донорной (л-тип) S00 *1 Длина стержня 45 ем, для остальных 1 м. *2 Диаметр стержня 3—17 см. *3 Диаметр стержня 2,5-4,5 см. Поликристаллический кремний может поставляться и в виде загрузок, имеющих одинаковую массу (мерные загрузки), а также в виде кусков с минимальной массой 0,05 кг. Такой кремний используют для выращивания монокристаллов методом Чохральского. Поверхность стержней поликристаллического кремния не должна быть загрязнена хлорида |
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119 |
Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb) |
[каталог] [статьи] [доска объявлений] [прайс-листы] [форум] [обратная связь] |
|
Введение в химию окружающей среды. Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей
среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги
заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в
разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности.
Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и
атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на
химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах.
Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии
университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга
читателей.
Химия и технология редких и рассеянных элементов. Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов
химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии
лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во
второй
части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана,
лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В
третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия,
тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание
уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В
технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика
рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов
производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие
составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по
1972 год включительно.
|
|