химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

ние, используемые при очистке

В промышленности для очистки трихлорсилана вначале применяли насадочные"колонны, которые затем заменили тарельчатыми. Связано это с тем, что не удалось найти материал для изготовления насадки, который бы не загрязнял трихлорсилан.

В настоящее время наибольшее распространение получили колонны с ситчатыми тарелками (рис. 86), хотя применяют и колпачковые тарелки (рис. 86). Каждая тарелка снабжена устройством для подачи жидкости 1 и переливным устройством 2. В качестве массообменного элемента используется колпачок 3 (рис. 86, а) или сигчатый элемент тарелки 5 (рис. 86, б). С помощью переливного устройства поддерживается постоянный уровень жидкости 4 на тарелке. При сборке каждую тарелку тщательно устанавливают в корпус колонны, а образовавшийся зазор устраняют при помощи уплотнения; к.п.д. таких тарелок составляет 60-80 % в зависимости от режимов работы колонн.

В качестве кубов-испарителей в технологии трихлорсилана используют кубы с электрическим и паровым обогревом (рис. 87).

На колоннах ректификации диам. до 600 мм, где не требуется высокая паропроизводительность, используют кубы с электрическим обогревом. Электрическая мощность куба определяется количеством и мощностью энергонагревателей. В кубах с электроподогревом легко регулируется паропроизводительность, они имеют достаточно высокую поверхность испарения. Нагреватели вставляются в куб горизонтально и имеют специальное устройство, обеспечивающее обдув азотом мест врода нагревателей. Нагреватели должны всегда находиться под слоем кубовой жидкости, что обеспечивается специальными схемами блокировки.

Кубы с паровым обогревом представляют собой кожухотрубный теплообменник из хромоникельмолибденовой стали. В трубное пространство подают кубовую жидкость, а в межтрубное - водяной пар под давлением 0,4-0,6 МПа. Конденсаторы-дефлегматоры выполняют в виде кожухотрубных теплообменников (рис. 88).

Хладагент подается в трубное пространство через штуцер Аг и выводится через штуцер А2. Пары хлорсиланов поступают в межтрубное пространство, а конденсат хлорсиланов выводится через штуцер

199

г J * J. U,Jz S 1

В. Неконденсируемые газы (абгазы) отводятся через штуцер Г. Для продувки азотом существуют штуцеры Дг-А. Предусмотрена также возможность снижения избыточного давления с помощью штуцера В.

На практике часто происходит разрушение дефлегматоров, изготовленных из стали 12Х18Н10Т. Причиной разрушения теплообменников, работающих в качестве конденсаторов-дефлегматоров ректификационных колонн очистки хлорсиланов, является развитие процессов щелевой электрохимической коррозии в застойных зонах под слоем осадка, а также в местах дефектов и повышенных механических напряжений на наружной поверхности трубы. Коррозия проявляется в виде глубоких язв и раковин. Сталь 12Х18Н10Т, применяющаяся в качестве конструкционного материала теплообменников, склонна к щелевой электрохимической коррозии, а при повышенном (> 30 мг/л) содержании ионов хлора в охлаждающей воде к точечной коррозии и коррозионному растрескиванию.

Щелевая электрохимическая коррозия возникает в водной среде вследствие того, что частично экранированная осадком поверхность металла является анодом по отношению к открытой поверхности металла, играющей роль катода. Активатором щелевой электрохимической коррозии является растворенный в воде ион хлора. Лучшим материалом для изготовления теплообменников при производстве трихлорсилана является хромоникельмолибденовая сталь с повышенным содержанием лиселя (например, сталь Х17Н13М2Т или Х17Н13МЗТ).

В теплообменниках должны быть исключены направляющие перегородки в межтрубном пространстве, так как их наличие способствует возникновению застойных зон, благоприятных для накопления на трубах осадка в этих местах и возникновения под споем осадка щелевой коррозии.

Тип аппарата 600ТКГ*1

Диаметр аппарата,

мм 600

Технические характеристики теплообменной аппаратуры, разработанной ВНИИнефтехиммашем и применяемой в производстве трихлорсилана (материал аппаратов - сталь 10Х17Н13М2Т; материал прокладок - фторопласт-4), следующие:

800ТКГ" 1000ТКГ*1 1200ТКГ" 800ТКГ*2

800 1000 1200 800

201

200

Конденсат

Трихлорсилан и низкокипящие примеси

Трихлорсилан

очищенный

ч

кубовый продукт кубовый продукт

На доизвлечение трихлорсилана и тетрахлорсилана

Рис. 89. Аппаратурно-техвологическая схема Очистки трихлорсилана: 1 — колонна очистки от нижекипящих примесей; 2 - дефлегматоры; 3 — колонны очистки от нижекигшщнх примесей; 4 - кубы-испарители с паровым обогревом; 5 - куб-испаритель с электрообогревом

продукта. В соответствии с техническими требованиями содержание примесей в трихлорсилане не должно превышать, % (по массе): 6 • 10"* В, 3 • 10"7 А1,4 • 10-' Fe и Mg, 8 • 10"7 Са.

Создание рациональной схемы ректификационной очистки трихлор-силана-конденсата (рис. 89) зависит от двух противоречивых факторов. Противоречие заключается в том, что для повышения степени очистки, с одной стороны, необходимо

страница 57
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
купить шиповки ярославль
Тумба под ТВ Antall Mega 01
дверь в душ huppe
стеклянный наборный стеллаж

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(03.12.2016)