химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

идкостью. В том числе, когда пузыри газа малы, образующаяся псевдоожиженная система называется кипящим слоем. Поток газа, проходящий снизу вверх через слой твердого материала и приводящий его в псевдоожиженное состояние, называется ожижающим агентом.

Если постепенно увеличивать скорость ожижающего агента, можно добиться возникновения однородного взвешенного слоя (см. рис. 70,2). Скорость, при которой слой зернистого твердого материала переходит в псевдоожиженное состояние, называется скоростью начала псевдоожижения. Однородность псевдоожиженного слоя характеризуется одинаковым значением концентрации твердой фазы во всех точках слоя.

При определенных условиях в объеме слоя могут образовываться крупные пузыри (см. рис. 70, 3), которые разрывают поверхность слоя и выбрасывают вверх группы" твердых частиц. В дальнейшем пузыри нередко сливаются в один большой пузырь, заполняющий большую площадь в сечении аппарата, неся перед собой часть слоя (см. рис. 70, 4).

При увеличении скорости газа и уменьшении диаметра аппарата условия поршнеобразования становятся более благоприятными.

Решающее значение для ряда процессов имеет текучесть зернистого материала в кипящем слое. Для материалов с относительно большой текучестью повышение скорости газа может приводить к сквозным прорывам и восходящие потоки газа движутся по каналам, как через неподвижный слой (см. рис. 70, 5). В' условиях гидрохлорирования кремния каналообразование ведет к проскоку хлористого водорода и увеличению его потока на санитарную очистку.

Для равномерного распределения газа по сечению слоя применяют газораспределительные решетки с малым свободным сечением (1,5-2,5 %). Однако установка этих решеток приводит к возрастанию гидравлического сопротивления аппарата, а при нарушении условий кипения или при увеличении концентрации примесных веществ, например соединений кальция в кремнии, могут возникать легкоплавкие соединения, способствующие комкообразованию, нарушению кипения, приварки кремниевой массы к реактору или решетке. В таком случае эти процессы ведут либо к прогарам реактора, либо к его остановке с выгрузкой контактной массы. Ш

Один из режимов организации движения слоя заключается в переводе работы слоя в фонтанирующий режим (см. рис. 70, б). В этом случае подача газа осуществляется через коническое днище аппарата и при отсутствии распределительной решетки приводит к фонтанирующему режиму работы. Газ проходит в основном по центральной зоне, зерна увлекаются струей газа и выбрасываются фонтаном в расширенную часть аппарата, где теряют скорость. Затем начинается осаждение частиц; они сползают вниз по периферийной зоне и, пройдя до нижней конической части аппарата, вновь подхватываются струей и поднимаются вверх.

В аппаратах фонтанирующего слоя скорость газа в нижней узкой части конуса выше скорости начала "взвешивания". Попутно отметим, что это дает возможность использовать аппараты фонтанирующего слоя для особо высокотемпературных процессов и при переработке агрессивных сред, т.е. в тех случаях, когда неприменимы газораспределительные решетки. Аппараты фонтанирующего слоя позволяют перерабатывать материалы с различным размером зерен (полидисперсные) с меньшим уносом, чем в условиях обычного кипящего слоя. г

Существует также тангенциальный ввод газа в аппарат с таким, расчетом, чтобы зернистый материал двигался вращательно [109].

Если специальными методами инициировать вибрацию частиц в слое, то можно получить виброкипящий слой. Благодаря вибрации устанавливается перемешивание материала и уменьшаются размеры пузырей.

Гранулометрический состав или распределение частиц кремния по размерам (диаметра d) можно охарактеризовать, вводя понятие о среднем диаметре частиц. Частицы, как правило, имеют самую различную форму, но для упрощения принимают, что они имеют форму шара, диаметр которого называют эквивалентным диаметром частицы. Группа частиц разных размеров может быть охарактеризована также эквивалентным диаметром этой группы частиц. Пользуются различными способами усреднения частиц по диаметрам, т.е. по-разному вводят понятие эквивалентного диаметра dy.

Формулы для определения среднего эквивалентного диаметра частиц [ПО] следующие:

средний арифметический диаметр d»" Е djnj/n= I —~/Z

где л - общее число частиц; щ - число частиц определенной i-той фракции;

средний квадратичный диаметр

?/2

V

Si

4-(2

где di - средний диаметр частиц r-той фракции; средний гармоничный диаметр

где gi - массовая доля частиц /-той фракции; средний диаметр по массе

d3 = (

Выбор того или иного метода определения среднего эквивалентного диаметра определяется постановкой задачи. Распределение частиц по диаметрам находят методами ситового анализа.

Движение газового потока через слой твердых частиц сопровождается потерей напора Ар (гидравлическим сопротивлением). При постепенном увеличении скорости газа возрастает и гидравлическое сопротивление слоя до определенного значения, а затем оно остается постоянным (рис. 71). Этот момент характери

страница 46
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
изготовление рекламных растяжек цена
анализ кала на углеводы в воронеже
ts 1253u rp
матрас ларидо evs

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(16.12.2017)