химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

саж - слой из оплавленной твердой шихты и невосстановленных продуктов плавки.

В шамотной кладке подины размещают термопары. Угольную часть подины выкладывают из двух-трех угольных блоков. Между блоками оставляют швы шириной ^ 50 мм, которые набивают нагретой подовой массой. Иногда используют мастику из графита и жидкого стекла. Внутреннюю часть стен ванны выкладывают угольными блоками, плотно подгоняя их друг к другу. Между блоками и шамотной кладкой оставляют зазор, который заполняют шамотной крупкой или подовой массой. Футеровку верхней части стен выше угольных блоков выкладывают большеразмерным шамотным кирпичом.

ошиновка

142

при разделке готовой продукции. Большое количество кремнезема в виде пыли уносится из печи колошниковым газом (1,4-1,8 г/м3).

Кремний и шлак составляют всего 25 % от массы заданных на плавку материалов. Остальная доля приходится на колошниковый газ. Химический состав шлака, образующегося при плавке кремния, %: Si03 30-50; SiC 8-11; Si 4-6; MgO 0,25-0,35; А1203 23-29; CaO 13-24; FeO 0,15-0,22. В кремний переходит из шихты 50-59 % А1, 35-40 % Са, 29-31%Mg.

На 1 т кристаллического Si расходуется 2,5-2,6 т кварцита, 1,2-1,35 т древесного угля, 0,14-0,16 т нефтяного кокса и 0,2-0,25 т концентрата газового угля.

Кремний из печи выпускают в изложницу, футерованную угольными блоками. После того как слиток кремния остыл, его направляют на дробление и чистку.

Раздробленный на решетке с помощью пневмомолота до кусков 250- 290 мм кремний проходит через решетку и поступает в приемную воронку вибропитателя, который подает его на ленту разделочного конвейера. На конвейере куски кремния сортируют по количеству видимых вкраплений шлака и приварившихся брызг от расплава при разливке и сбрасывают в кюбеля.

Для оценки качества во время выпуска отбирают пробы кремния от струи выходящего расплава через каждые 30 мин. Из отобранных проб составляют среднюю, которую подвергают спектральному анализу на содержание железа, алюминия, кальция. По результатам анализа устанавливают марку выпущенного в результате каждой плавки кремния. Из плавок кремния одной марки формируют партии для отгрузки потребителю.

В последнее время повышается спрос на кристаллический кремний с низким содержанием примесей (особенно кальция и алюминия), что в свою очередь требует использования высококачественных исходных сырьевых материалов.

В табл. 5 показано, какая доля поступления примесей в кремний приходится на сырьевой материал и углеродистые восстановители1. Углеродистый восстановитель обычно состоит из древесного угля (75- 80 %), нефтяного кокса (8-10 %) и каменного угля (13-14 %).

По качественному составу и количеству примесей технический кремний, производимый в СССР и зарубежными фирмами, не имеет существенного различия.

1 По данным ВАМИ.

145

Улучшить характеристики кристаллического кремния можно также, используя брикетированную или окатанную шихту, состоящую из кварСвойства силанов

Температура кипения Т*^,; Плотность жидкости при:

нормальных условиях (и.

гкип •

Плотность пара, кгЛл3, при:

н-У

'кип

10-« нХ

Вязкость жидкости при Тккп,

Хс • мг

Вязкость пара ? 10"5, Па ? с, при:

натяжение жидкости,

Гкип

Поверхностное мДж -мГ2, при:

н-у

^кип

Критические:

объем, см3/моль .

Наиболее полно в отечественной литературе свойства силанов описаны в работах [95, 96]. Физико-химические свойства силанов, используемых при промышленном производстве полупроводникового кремния, следующие:

SiCl, SiHCl3 SLHZC12 Sffl4

169,90 135,45 100,98 32,12

0,165 0,207 0,277 0,869

330,45 305,20 281,3 161,20

1,470 1,333 _ .

1,403 1,317 1,261 556

2,158 4,371 4,513 1,454

6,300 5^45 — 29,33 26,6 27,27 11,26

3,473 3,074 - 1,32

1,072 1,04 1,085

1,12 1,03 - 5,819 • 10"

19,05 17,36

15,4 16,5 21,0 14,0

203,75 146,55 151,0 88,48

7,716 10,894 - 0,6678

507,0 479,0 445,0 269,5

3,73 4,17 4,49 4,84

326,3 268,0 228,0 137,0

* гкип — температура кипения при нормальном давлении.

Термодинамические характеристики силанов приведены в табл. 6, а давление насыщенных паров и их содержание в инертном газе -в табл. 7.

Способы получения трихлорсилана

Впервые трихлорсилан был получен при взаимодействии кремния и осушенного хлористого водорода [95]. Реакция протекает с заметной скоростью при 553- 623 К [99].

В литературе имеются описания и других методов производства трихлорсилана [3]. В частности, при восстановлении кварцевого песка магнием получают силицид магния, который затем обрабатывают соляной кислотой, в результате образуется трихлорсилан.

147

Таблица б. Терчоп&вшлчккж свойства сплавов и других веществ, вспивлушых в технологии шйугфоводннксФого кремния [96,97]

Продолжение табл. 7

й298" Р.298ДжДмопьХ ДжДмоль* Хград) Хград)

кДж/моль

с-10"!

Ь-1030,5

2,85

3,541,26

14,69

21,31

26,92

30,6

31,69

35,42

5,27 10,21

3,26

0,67

3,86

5,19

0,96

3,77

6,95

10,38

13,58

4,31

0,92 0,59

27,28

37,0

22,82

21,25

106,3

страница 41
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
цена на металлосайдинг в волгограде
котел для отапливания дома
курсы дизайна интерьера м юго-западная
шатры на заказ

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(04.12.2016)