химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

ьным кругом с зернистостью 80/63 мкм (для грубой обработки) и 40/28 мкм для тонкой обработки.

Перед калибровкой к торцам монокристалла наклеечной мастикой приклеивают центры (металлические шайбы) для крепления в станке. Центры приклеивают таким образом, чтобы их оси совпадали с осью монокристалла. Затем монокристалл устанавливают в станок и с обоих торцов закрепляют гидравлическими зажимами. Калибровку проводят при одновременном вращении монокристалла и шлифовального круга. После калибровки измеряют шероховатость поверхности - среднее отклонение высоты точек измеренного профиля от его средней линии в пределах базовой длины. Шероховатость измеряют профилометром. После тонкой шлифовки шероховатость достигает 0,20. В соответствии с действующими стандартами она должна составлять 0,16-0,20. Если необходимо получить шероховатость 0,16, поверхность монокристалла дополнительно полируют алмазной пастой с зернистостью 3/2 мкм.

Часть выращенных монокристаллов используют для изготовления затравочных кристаллов. С этой целью их ориентируют в заданном направлении и размечают в соответствии с формой и размером затравок, которые вырезают, применяя алмазный круг с внутренней режущей кромкой и с зернистостью шлифовального порошка 40/28 мкм. Применение круга с внутренней режущей кромкой обеспечивает высокую точность ориентированных резов и минимальные потери монокристаллического кремния.

5-214

Глава Ш. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ЧИСТОГО КРЕМНИЯ, ОБОРУДОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ ПРОМЕЖУТОЧНЫХ КРЕМНИЙСОДОРЖАЩХ СОЕДИНЕНИЙ

1. ПРОИЗВОДСТВО ЧИСТОГО КРЕМНИЯ

Методы получения чистого кремния можно разделить на три основные группы: металлургический, электрохимический, химический.

Металлургический метод

Подробно металлургический метод описан далее. Получаемый при этом кремний непригоден для производства полупроводниковых приборов, но метод усовершенствуется с целью получения материала, годного для производства солнечных батарей. Работы ведутся в направлении использования исходных материалов повышенной чистоты [79, 80], кислотной обработки полученного кремния [79, 81], введения специальных флюсов, использования экстракционной очистки расплавами металлов1 и т.д. Электрохимический метод

Этим методом получают сплавы кремния и водорода, а также кремний в виде порошка или поликристаллической пленки. Обычно подвергают электролизу растворы галогенидов кремния в различных органических растворителях [79, 82] либо применяют смеси на основе галогенидов и диоксида кремния в среде расплавленных солей.

В качестве анода используют обычно уголь, кремнемедные сплавы; катоды изготавливают из графита, кремния, силицидов кремния и вольфрама.

1 Пат. 3933981. США. 1976.

130

При получении кремния электролизом (рис. 59) загрязненный примесями металлургический кремний с добавками меди используют в качестве анода. Электролитом является расплавленная смесь солей LiF, KF, SiF4 [79, 83]. Кремнемедный сплав и электролит находятся в тигле из стеклоуглерода, который одновременно служит анодным контактом для сплава. Небольшой электрический потенциал между катодом и анодом способствует переносу атомов кремния от анода к катоду и осаждению на нем кремния в поликристаллическом виде. При этом примеси более отрицательные, чем кремний, остаются на аноде и благодаря этому удается получить на катоде кремний с содержанием бора, титана, железа, ванадия, хрома, молибдена < 1 ррт. Составляющие же электролита (К, Li, F) содержатся в получаемом кремнии на уровне нескольких ррт.

Подробный обзор электрохимических методов получения кремния выполнен в работах [79,82,83]. Хотя в целом эти методы имеют хорошие перспективы, для успешного их применения еще надо решить ряд проблем, главной из которых является осуществление процесса электрохимического получения кремния в промышленном масштабе. Кроме того, серьезные затруднения возникают при попытках выращивания из расплава такого кремния монокристаллов, так как на поверхности расплава при этом появляется шлак. Одновременно происходит расстекловывание используемого кварцевого тигля, что приводит к его разрушению и аварийной остановке процесса.

По указанным причинам промышленного распространения эти методы пока не получили.

Восстановление кремнийсодержащих соединений с помощью металлов

Наиболее известным в этой подгруппе является метод восстановления четыреххпористого кремния цинком (метод Бекетова), основанный на реакции: SiCl4 + 2Zn -* Si + 2ZnCl2.

Установка для получения кремния этим методом (рис. 60) [84] состоит из кварцевой трубы, являющейся реактором, соединенным, с одной стороны, с испарителями цинка и тетрахлорсилана, а с другой - с конденсатором (сборником) непрореагировавших продуктов. Части установки соединены между собой уплотнениями из чистого асбеста, на шлифах или пайкой.

Все элементы установки и соединительные. трубки подогреваются отдельно регулируемыми нагревателями; температуру нагрева выбирают в следующих пределах: для печи реактора 1223-1273 К, для испарителя цинка 1223-1273 К, для испарителя тетрахлори

страница 36
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
реакционный артрит
гироскутер на больших колесах купить в москве
футбольная форма детская купить
biomedics 55 evolution uv купить

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(23.08.2017)