химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

олебаний и поступательного движения атомов нарушается.

Упорядоченные области в жидкости возникают спонтанно. Между ними существуют области с неупорядоченным расположением атомов. Эта картина не является стабильной. В следующий момент вследствие флуктуации температуры упорядоченные области возникают в другом месте и т.д.

Что же представляют собой твердые образования (флуктуации) и вообще что представляет собой твердое тело?

Главным, чисто внешним отличием от жидкого состояния является способность сохранять форму. При этом существуют тела хрупкие и пластичные. Хрупкие тела при деформации крошатся. Пластичные же тела перед разрушением могут изменять форму, не разрушаясь. Все это связано с характером и индивидуальностью взаимодействия между частицами и особенностями их движения.

Твердые тела бывают аморфными и кристаллическими, причём их состояние часто не связано с внешним видом. Так, парафин является кристаллическим телом, а стекло - аморфным. С помощью рентгеноструктурного анализа отличие аморфного тела от кристаллического устанавливается довольно просто. Аморфное тело имеет такую же структуру, как и жидкое, с тем лишь различием, что в жидком состоянии плотные (твердые) участки существуют временно, а у аморфного тела они долговечны. У жидкости большая часть частиц имеет большую длину свободного пробега (расстояние между столкновениями), у аморфного тела частицы в основном совершают колебания вокруг центра оседлости и только некоторые из них могут совершать скачки на несколько межатомных расстояний. Кроме того, в жидком состоянии "твердые" микрообразования могут передвигаться в "газовой" среде не разрушаясь, в аморфном же состоянии такое перемещение исключено.

Общей особенностью жидкого и аморфного состояний является то, что большая часть частиц расположена относительно друг друга в полном беспорядке: почти так, как выглядит мгновенная фотография относительного расположения частиц в газообразном теле. В этом смысле твердое кристаллическое тело по строению и взаимному расположению частиц резко отличается от уже рассмотренных агрегатных состояний вещества.

Атомы (молекулы) кристаллического тела расположены в строгом, вполне определенном для каждого вещества порядке относительно друг друга, причем, этот порядок распространяется на достаточно большие расстояния ("дальний порядок").

У наиболее простых по атомной структуре веществ, таких как отвер11

О0,25

0,25(1

9МЛ. 3. Кристаллическая решетка кремния и схема ковалентной связи: О — общий вид; Б — расположение атомов в плоскостях [атомы — лежат в плоскости (100), атомы * - (ПО), Х — (111)]; в - гранецентрированные кубические ячейки, сдвинутые относительно друг друга; Г — ковалентная связь. Цифрами указано Положение атомов по отношению к передней грани в частях параметра А

Представленное описание кристаллической решетхи соответствует идеальному расположению атомов в пространстве. И в этой идеальной картине следует выделить несколько важных, широко употребляемых понятий. К ним относятся понятия о вершине, ребре и плоскости решетки. Обычно поверхность естественного кристаллического тела ничем не напоминает описанное атомное строение. Однако в особых условиях выращивания или обработки можно получить гранный кристалл, который в той или иной степени напоминает трансляционную ячейку. При этом хорошо видны плоские грани, ребра и вершины пространственного параллелепипеда. Более того, можно с большой, достоверностью утверждать, что главным свойством кристаллического

беспорядком в системе, состоящей из огромного числа частиц, в дальнейшем будет обосновано достаточно строго (оно является следствием закона сохранения энергии).

Имеющиеся в системе дислоцированные атомы и дырки обладают высокой подвижностью. Первые из-за того, что они связаны меньшим количеством соседей, кроме того, они находятся на таких расстояниях от соседей, которые не обеспечивают наибольшую силу связи. Вторые из-за того, что атомы, находящиеся на границе с дыркой, могут легко оторваться из окружения своих соседей и, заняв дырку, перейти в другое окружение. Дырка при этом не может исчезнуть, она лишь перемещается на одно межатомное расстояние.

Проиллюстрируем описанное цифровыми значениями характеристик точечных дефектов для кремния. Энергия образования и энергия активации (миграции) для вакансий составляет, по разным данным, соответственно 2,5-4,5 и 0,2-1,2 эВ, для межузельного атома 2,59-4,5 и 0,13-0,85 эВ. Из-за довольно низкой величины энергии миграции вакансии обладают высокой подвижностью. Так, в точке плавления коэффициент диффузии для однозарядной вакансии составляет 1,4 • 10~5 и для двухзарядной 4,1 • I0"s см2/с (эти величины сравнимы с подвижностью атомов примеси в жидкой фазе). Кроме того, подвижность вакансий почти не зависит от температуры. Верхний предел равновесной концентрации вакансий в монокристаллах кремния составляет 9 - Ю15, а нижний 2,2 • 1013 см-3. Примерно такие же характеристики присущи и дислоцированным атомам.

Дислоцированный атом и вакансия могут исче

страница 3
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
футзалки mizuno
мебельные ручки магазины в москве
старинные комоды из дерева цена
конденсатный блок nd-oh-28ob-

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(20.11.2017)