химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

] описаны процессы роста кристаллов кремния, химические процессы технологии, свойства кремния, однако эти работы лишь частично отражают современное состояние в данной отрасли и труднодоступны. Между тем накопленный большой опыт промышленного производства кремния, а также результаты работ по изучению его свойств нуждаются в обобщении и систематизации. Кроме того, ввод в эксплуатацию новых мощностей по получению поли- и монокристаллического кремния и промежуточных продуктов его производства увеличивает число специалистов, которые особенно нуждаются в книге, где были бы описаны технология кремния и используемое оборудование.

Предлагаемая книга написана на основе многолетнего опыта работы авторов в области производства кремния на Запорожском титано-магниевом комбинате, опыта других отечественных и зарубежных предприятий, а также многочисленных публикаций по рассматриваемому вопросу.

Авторы выражают искреннюю благодарность Л.Е. Березенко, Т.В. Критской, Э.Г. Шейхету, А.Г. Петрику, В.Е. Бевзу за полезные замечания,- сделанные ими при обсуждении рукописи, а также З.А. Поповой, М.Ю. Мучник, В.В. Глух за помощь при подготовке и оформлении рукописи. Особенно признательны авторы рецензенту докт. хим. наук проф. В.Б. Уфимцеву за ценные замечания, которые были учтены при подготовке рукописи.

Авторы с благодарностью примут критические замечания читателей по содержанию книги.

4

Известно, что кинетическая энергия движения Б вдоль каждой из степеней свободы определяется скоростью движения V и массой частицы: Ј=l/2mv2.

Между молекулами и атомами существуют силы взаимодействия,

величина которых зависит от расстояния. Как следствие возникает и

потенциальная энергия взаимодействия U(R), также зависящая от

расстояния г между ними. В общих чертах потенциальную энергию

взаимодействия можно охарактеризовать зависимостью, представленной на рис. 1. На расстоянии, большем г0, преобладает (рис. 1, А) энергия притяжения, при сближении на расстояние, меньшее, чем г0, возникают силы отталкивания, которые очень быстро увеличиваются по мере сближения. Таким образом, если частицы находятся на далеких расстояниях, они почти не взаимодействуют между собой (энергией взаимодействия можно пренебречь). При сближении частицы могут соединяться, образуя простую молекулу. Однако, если скорости сближения

очень велики, так, что расстояние между частицами может стать

меньше г0, и тогда частицы отталкиваются по закону столкновения упругих шаров. В точке г0 силы притяжения уравновешиваются силами отталкивания и потенциальная энергия взаимодействия становится минимальной (рис. 1, б).

Соотношение кинетической энергии поступательного движения и потенциальной энергии взаимодействия и определяет характер агрегатного состояния вещества.

Рис. X Распределение помов (молекул) газа уровню кинетической энергии Б

молекул Е: Р = Iftnmv = 2/Зп?*,_где и - число частиц в единице объема; m - масса каждой частицы; v - средняя квадратичная скорость поступательного движения.

Зная уравнение Клапейрона-Менделеева PV = RT (V - объем, занимаемый газом; R - универсальная газовая постоянная), можно выразить одну из важнейших характеристик (температуру Т) как функцию среднего значения кинетической энергии поступательного движения частиц: Т = 2/ЗЕ.

Тогда основное уравнение состояния определится как Р = nkТ, где k = R/N0 (N„ - число Авогадро).

Это важнейшее соотношение кинетической теории, связывающее давление и температуру. Из изложенного следует, что температура - это усредненная величина, которая теряет смысл, если система состоит из очень малого числа молекул. Это не что иное, как количественная мера энергии теплового движения огромного числа частиц, из которого состоит тело. Нужно отметить, что большое число частиц и их огромная скорость движения обеспечивают быстрое установление одинаковых давления и температуры в различных точках системы. Однако, кроме микроскопического движения (отдельных молекул), в системе наблюдаются и макроскопические отклонения от средней величины параметров системы. Хорошо известны отклонения от средних плотности, температуры и давления в различных малых объемах большей системы. Такие сравнительно небольшие отклонения называют флуктуациями. Они характерны тем, что имеют небольшой период существования. Так, если в данном микрообъеме в данный момент времени зафиксировано снижение температуры по сравнению со средней температурой всего объема, то в следующий момент в этом же микрообъеме произойдет такое же примерно отклонение, но уже в сторону увеличения. Это явление неотъемлемо от особенностей поведения тел, состоя? ^Основное уравнение молекулярно-кинетической теории идеального газа Клаузиуса. Идеальный газ — это система, в которой потенциальная энергия взаимодействия намного меньше кинетической энергии поступательного движения. Кроме того, размеры частиц намного меньше, чем расстояния между ними.

порядка, например расплавленного кремния, представляет собой размытый объемноцентрированный куб. Дальний же порядок из-за к

страница 2
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
вечерние курсы бух учетв
купит пишевой пласмасовои вана для сира
курсы ланшафтного дизайна на курской
выучится на менеджера по продажам пермь

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(04.12.2016)