химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

реактора (расход 5-12 м3/ч в течение 30 мин).

Автоматическая схема контроля, управления и утилизации предусматривает сигнализацию и блокировку по давлению паров хлорсиланов в кубах ректификационных колонн; по давлению азота в клеммных коробках кубов ректификационных колонн с электроподогревом; по уровню жидкого продукта в кубах ректификационных колонн установок.

Все кубы-испарители ректификационных колонн оборудованы системой предохранительных клапанов и защитных разрывных мембран для предотвращения разрушения колонн в аварийных ситуациях.

Автоматическая схема сигнализации и блокировки работы установки обезвреживания кубовых остатков предусматривает отсечку подачи в реактор кубовых остатков при повышении температуры в реакторе > 368 К; падении давления в реакторе < 1,1 ? 10s Н/м2; падении давления азота в трубопроводе < 1,4 • 10s Н/м2; прекращении подачи электропитания (электроэнергии); прекращении подачи управляющего воздуха на приборы автоматики и контроля.

Емкости снабжены сигнализаторами верхнего уровня, позволяющими своевременно предотвратить их переполнение.

К аппаратам и емкостям, связанным с переработкой или хранением хлорсиланов, а также взрывоопасных паров и газов подведен азот.

Передел дробления и измельчения кремния снабжен местной и общеобменной приточно-вытяжной вентиляцией. Предусмотрен аспира-ционный отсос от неплотностей пылящего технологического оборудования через всасывающий рукавный фильтр типа СМУ-166А. Вентиляционные установки сблокированы с двигателями дробилки и шаровой мельницы. Установку включают за 3 мин до включения оборудования и выключают через 3 мин после остановки оборудования.

Электрическая схема мельницы предусматривает невозможность ее включения в случаях остановки вентилятора, отсасывающего пыль из кожуха мельницы; открытого положения люка кожуха; заполнения приемной камеры измельченным кремнием.

Схема автоматического контроля и управления предусматривает блокировку электродвигателя мельницы с электроприводом заслонки

395

на воздуховоде и с электродвигателем питателя шаровой мельницы; световую сигнализацию об аварийной остановке мельницы; сигнал включенного состояния.

Автоматическая схема управления процессом синтеза хлористого водорода предусматривает регулирование расходов хлора и водорода и их соотношений; сигнализацию и блокировку процесса синтеза по падению давления хлора и водорода; сигнализацию и блокировку по погасанию факела, падению давления сжатого воздуха системы автоматического контроля и управления потреблением электроэнергии.

При возникновении одной или нескольких из перечисленных аварийных ситуаций автоматически с помощью отсечных клапанов прекращается подача хлора и водорода в печь синтеза. Одновременно открывается подача азота для продувки печи на санитарную колонну. На щите безопасности КИП центрального пункта управления срабатывают звуковая и световая сигнализации, включается пневматическая сирена, расположенная на рабочем месте аппаратчика.

Технологическое оборудование, используемое в технологии полупроводникового кремния, во многих случаях имеет электрические приводы и нагревательные устройства. Обслуживание электрооборудования связано с опасностью поражения электрическим током. Электрический ток, протекающий через организм человека, воздействует на него термически, электролитически и биологически.

Термическое действие характеризуется нагревом тканей вплоть до ожогов, электролитическое - разложением органических жидкостей, в том числе разложение крови, биологическое действие электрического тока проявляется в нарушении биоэлектрических процессов и сопро- i вождается раздражением, возбуждением и параличом нервных тканей J и сокращением мышц.

Степень воздействия электрического тока на' организм человека ?

зависит от состояния нервной системы и всего организма. Так, в

состоянии возбуждения нервной системы, депрессии, болезни (особенно

болезни кожи, сердечно-сосудистой системы, нервной системы и т.д.) ;

и опьянения люди более чувствительным к воздействию протекающего 1

через организм человека тока. |

Значительную роль играет и фактор внимания. Если человек подго- 1

товлен морально к возможности поражения электрическим током, то Я

степень опасности снижается, в то время как неожиданное возденет- 1

вие электрического тока приводит к более тяжелым последствиям. |

Ток через тело человека протекает по пути наименьшего сопротивле- Т

ния, который не всегда совпадает с кратчайшим геометрическим путем. вЭто объясняется различием УЭС разных тканей тела человека. U

Так, УЭС при токе частотой 50 Гц составляет до, Ом • см: сухой кожи

396 ' 'к

2-10*; костей 1 ? Ю*-2-10»; жировой ткани (3—6)10ь; мышечной ткани 150-300; крови 100- 200.

Воздействие электрического тока начинает проявляться в зависимости от напряжения, под которое попал человек. Безопасным для человека считается напряжение до 36 В [296].

При обслуживании высокочастотных установок (например, установок бестигельной зонной плавки) появляе

страница 112
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
антирадарная пленка на номера
подставка под кухонные ножи
коллегия адвокатов пресненского района города москвы
удалить бородавки шаболовская

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(08.12.2016)