химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

ом и стойком сосуде быстро падает за счет поглощения газов (например, углекислого) и примесей из воздуха. Обычно воду используют сразу после очистки.

6. МАТЕРИАЛЫ АППАРАТОВ

Практически все аппараты, трубопроводы и другое оборудование для получения и очистки кремнийсодержащих соединений изготавливают из стали.

Стали - сплавы железа, содержащие углерода до 2,14 %. Стали подразделяют на конструкционные и инструментальные. Конструкциоиные стали содержат углерода до 0,8 %, Стали широко изменяют свои свойства (прочность, вязкость, способность выносить динамические нагрузки, свариваться, хорошо обрабатываться резанием и прокаткой и т.п.) в зависимости от состава, термической и механической обработок. Очень сильно' на свойства сталей влияет содержание углерода. В стальных изделиях, предназначенных для сваривания, содержание углерода должно составлять ? 0,3 %. Добавки различных металлов (легирование) придают стали особые свойства. В легированных сталях допускается до 0,2 % С. Стали с низким содержанием углерода хорошо штампуются и вытягиваются, ио плохо обрабатываются резанием.

Углеродистые конструкциоиные стали обыкновенного качества предназначаются для изготовления различных металлоконструкций, а также слабонвгружеиных леталей машин. Они маркируются буквами "Ст" и цифрой от 0 до 6. Чем больше номер, тем больше в стали углерода и выше'прочиость.

При изготовлении аппаратов и установок полупроводниковой промышленности широко используются углеродистые и легированные качественные стали. Они различаются по химическому составу и механическим свойствам. Их маркируют цифрами 08, 10, 15, 20 , 2S,... 85, которые характеризуют среднее содержание углерода в сотых долях процента. Эти стали содержат фосфора * 0,035 % и серы < 0,040 %, кремния (для большинства марок) 0,17—0,37 %, а марганца 0,8 %.

Легирующие элементы, входящие в состав стали, принято обозначать следующими буквами: А — азот, Б - ниобий, В — вольфрам, Г — марганец, Д — медь, Е — селен, М — молибден, и — никель, Р — бор, С - кремний, Т — титан. Ф ~ ванадий, Ю — алюминий, К — кобальт, X — хром, Ц — цирконий.

Для обозначения легированных сталей принято определенное сочетание цифр и букв.

В конструкционных легированных сталях первые две цифры указывают среднее содержание углерода в сотых долях процента, буквы — легирующий элемент, а цифры, стоящие

Таблица 17. Коррозионная стойкость различных материалов в теттдеслорсилаве (293 К)

Скорость коррозии, г/(м* * ч)

Материал

общая по элементам

Fe Ni Cr Mo

Железо 5,1 • 10"* _ _ — Мель М-КГ1 - - - Хром 2,1 - 1(Г7

Алюминий 8,2-10-'

Молибден 3,4-10"* - - - Никель 4,9-10-' Титан 4,310-' - 12X18HWT 3,14-Пт1 2,4 Ю-1 1,1 • Иг' 1,05-10-' 1-Ю-'

10X17H13M3T - М-Ю-7 7,6 -ИГ' 8,1-Ю-' 4,1-10-»

06ХН28МДТ - 4,5-10-' 63 10-' 5,7 -10"' 2,3-10"»

содержащем до 0,2 % влаги. Практика подтвердила целесообразность химического никелирования хлорных компрессоров и арматуры, изготовленных из чугуна и углеродистой стали, для защиты от коррозии.ч

Титан в сухом газообразном и жидком хлоре воспламеняется. Во влажном хлоре при температурах ниже точки росы, а также в хлорной воде до 373 К гитан практически не корродирует. Практика показала, что титан в определенных условиях проявляет склонность к щелевой коррозии. Такой вид разрушения наблюдается в зазорах между трубами и трубными решетками холодильников и т.п.

Глава VII. ОСНОВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ТЕХНИКИ БЕЗОПАСНОСТИ

Производство полупроводникового кремния связано с использованием и получением огневэрывопожароопасных и токсичных веществ, электроэнергии и др. Поэтому необходимо знать некоторые характеристики исходных, промежуточных и конечных продуктов, а также общие правила безопасности при работе с электроустановками и оборудованием.

Действие кремниевой пыли на организм человека подробно не исследовано. Предельно допустимая концентрация (ПДК), принятая для аэрозоли кремния, 4 г/м3 [288]. Класс опасности кремния по ГОСТ 12.1.007-76 не определен, вместе с тем аэрозоль кремнемедного сплава отнесен к четвертому классу опасности [289]. Кристаллический кремний - негорючий материал. Мелкодисперсная пыль кремния в смеси с воздухом образует взрывопожароопасные смеси. Нижний концентрационный предел воспламенения 100 г/м3, а температура воспламенения 1063 К [290].

Для защиты органов дыхания используют респираторы, для защиты кожи - плотную спецодежду, рукавицы, обувь. Для снижения концентрации пыли в воздухе помещения необходимо проводить тщательную влажную уборку кремниевой пыли не реже 2 раз в год и влажную уборку рабочих мест ежемесячно. Необходимо также следить, за постоянной работой вытяжной вентиляции и фильтров. Кусковой кремний хранится в деревянных ящиках или металлических контейнерах с герметичными крышками для предотвращения попадания влаги.

При вдыхании паров трихлорсилана в течение нескольких минут человек возбуждается, происходят рефлекторное нарушение дыхания, воспалительные изменения в органах дыхания. Пары трихлорсилана сильно раздражают слизистые

страница 109
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
куплю ручки-скобы с деревянными элементами
y971
Барный табурет VIST Джин Th
Супермаркет техники KNSneva.ru предлагает JD368B - офис в Санкт-Петербурге со стоянкой для клиентов.

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(18.01.2017)