химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

м эффективно работать при значительных перепадах давлений, поэтому для получения низких давлений они должны работать в паре с обычными механическими насосами.

Для получения в вакуумных установках остаточных давлений 1,33 ? 10"1-1,33 • КГ5 Па в современной технике используют пароструйные насосы, работа которых основана на откачивающем (захватывающем) действии струи пара рабочей жидкости. Механизм действия струи пара состоит в захватывании молекул газа в области низких давлений и переносе их в область более высоких давлений. Устройство, создающее в пароструйных насосах большую скорость движения струи пара в заданном направлении, называется соплом. Существуют эжекторные и диффузионные сопла.

Схема действия эжекторного сопла приведена на рис. 182, о. Выходящая из цилиндрической трубки 1 струя пара 2 на границе соприкосновения с газом образует завихрения, которые, перемещаясь с большой скоростью, увлекают за собой частицы газа. Эффективность действия такого сопла значительно возрастает, если ему придать форму, более приспособленную для эжекторного действия. Эжекторный насос (рис. 182, б) состоит из питателя 2, из которого со скоростью, превышающей скорость звука, выходит направленная струя пара, смесительной камеры 1, куда непрерывно поступает откачиваемый газ, и диффузора 3, через который газ выводится вместе с паром за пределы рабочего пространства сопла.

Сопло, действие которого основано на диффузии газа в струю пара (рис. 183), является основой диффузионного насоса. Это сопло состоит из паропровода I, зонта 3 и охлажденной цилиндрической стенки 4. Газ вследствие своего теплового движения достигает пространства, граничащего со струей пара 2, диффундирует в нее и перемещается в направлении движения струи пара.

Диффузионные сопла могут обеспечить получение высокого вакуума (до 1,33 ? 10"5 Па) при высокой (до 10000 л/с) скорости откачки, но нуждаются в тщательном предварительном разрежении, так как имеют низкое максимальное выпускное давление.

Ряс. WZ Схемы эжекторного сопла («) и насоса

ОТ

Для получения более высокого вакуума используют ионно-сорбцион-ные насосы, в которых используются два явления, приводящие к сни381

жению давления и известные уже много лет: сорбция газов испаряющимися металлами и поглощение их при электрическом разряде [282,284].

Кроме того, в вакуумной технике широко применяют криогенные конденсационные (основанные на конденсации при низких температурах газов) и криосорбционные насосы. Криосорбционные насосы путем охлаждения адсорбентов до сверхнизких температур поглощают иэ замкнутого объема остаточные газы. При полном насыщении адсорбента газом криосорбционный насос становится конденсационным. Криосорб-ционный насос при использовании жидкого гелия позволяет откачивать предварительно разреженный объем до 1 -Ю-9 Па.

В конструкции вакуумной установки важное место занимают уплотнители. В зависимости от требований к разрежению могут использоваться как неметаллические (неоднократно), так и металлические уплотнители (как правило, разового использования). Неметаллические уплотнители (резины) просты в изготовлении и надежны в эксплуатации, но имеют ограниченную термическую стойкость и обычно повышенное газовыделение, поэтому чаще всего применяются в непрогреваемых вакуумных системах при давлениях > 5 • 10" Па. Соединения с металлическими уплотнителями предназначены для прогреваемых вакуумных систем с давлением < 5 • Ю-5 Па и должны выдерживать многократные длительные прогревы до 600-800 К во время газоочистки. Типичны металлические уплотнители конические и с канавочно-кли-новым профилем. Для соединений с резиновыми уплотнителями чаще всего применяют канавочные профили.

Движение деталей (например, штоков) в откачиваемый сосуд в зависимости от конструкции уплотнительного элемента может передаваться вводами движения с контактным, деформируемым и неподвижным уплотнительными элементами.

В установках для получения монокристаллов кремния по Чохральс-кому или бестигельной зонной плавкой используют уплотнения Вильсона для ввода движущегося штока в камеру выращивания и уплотне382

воды происходит истирание смол с образованием высокодисперсных твердых взвесей. Эти взвеси задерживаются фильтрами, которые устанавливаются на выходе из колонны. Транспортировку очищенной воды осуществляют по полиэтиленовым или кварцевым трубам.

Вода, применяемая в технологии полупроводникового кремния, v должна соответствовать требованиям МРТУ 6-09-688- 63 на воду марки ОСЧ 25-6, содержащую сумму примесей в количестве < 9,185 • 10~6 % (по массе). УЭС воды в этом случае при 291-293 К должно быть > 15 МОм • см. Концентрация водородных ионов рН - 5,4-5-6,6.

Содержание примесей в воде марки ОСЧ 25-6 ограничено: 1,0 мг/п 02; 2 • ИГ7 % А1 и В; 1 - 1<Г* % V, Со, Mg, Sb, Р, Zn, Zr; 1.10" % Bi, La, Mn; 1 ? НГ* % Ca и CI; 5 - 10~ % As, Pb, Cr; 3 ? 10" % Ni, Sn, Ti; 3 • ID"7 % Fe; 5 • 10" % (по массе) Si.

Полученную деионизованную воду хранить не рекомендуется, так как ее УЭС при хранении даже в очень чист

страница 108
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(22.02.2017)