химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

одноступенчатых вращательных масляных; 12 - насосов Тэплера; 13 - многопластннчвтых; 14,1S — водоструйных и водокальцие-вых; I—N — то же, что и на рнс. 175

(рис. 179). Предельное разрежение, создаваемое водокольцевым насосом, в основном определяется давлением водяного пара и, как правило, составляет > 2 • 103 Па. При помощи быстро вращающегося экцентрично расположенного ротора (см. рис. 179) вода распределяется в цилиндрическом кольце по внутренней стенке корпуса. Лопасти ротора погружаются при этом в уплотняющий слой воды на разную глубину. Таким образом, образуется ряд откачных камер, а столб воды в каждой такой камере выполняет роль поршня.

Достоинством водокольцевых насосов является малая чувствительность к пыли и конденсирующимся парам.

Группа насосов, у которых в процессе откачки периодически увеличивается или уменьшается рабочий объем, относится к механическим

насосам. Во время увеличения рабочий объем насоса связан с откачиваемым объемом. В момент достижения наибольшей величины рабочий

объем с помощью соответствующих устройств изолируется от высоко13 -214 377

корпус

Рис. ГВ. Устройство водоколъцевого ваеосв:

1,3 — выпускное и впускное отверстия; 2 — ротор; 4 ?

вакуумной части, затем он уменьшается. Сжимаемый в рабочем объеме газ выталкивается через клапан. Наиболее часто применяются механические насосы с масляным уплотнением трех типов: пластинчато-роторные, пластинчато-статорные и золотниковые.

На рис. 180, а показана схема действия пластинчато-роторного механического насоса. Ротор 6 эксцентрично расположен в полости статора 5 насоса. При вращении вокруг своей оси он прилегает к внутренней поверхности цилиндра статора по его образующей. В продольной прорези ротора вставлены две уплотнигельные лопатки 2, которые прижимаются пружиной 1 к внутренней поверхности статора. При вращении ротора в направлении, указанном стрелкой, объем 11, ограниченный лопаткой 2, увеличивается, и газ иэ откачиваемого сосуда засасывается через входной патрубок 4. Объем II, перемещаясь, займет сначяла положение/Л, а затем/. При дальнейшем движении ротора объем уменьшается, а находящийся в нем газ сжимается. Под давлением сжатого газа открывается входной клапан 3 и газ выбрасывается в атмосферу.

Рис. 180, б иллюстрирует работу механического насоса пласгинчато-статорного типа. Ротор 7, эксцентрично сидящий на валуй, вращается

378

вокруг оси, совпадающей с геометрической осью рабочей камеры статора. При вращении ротор скользит по стенке рабочей камеры, все время касаясь ее. В прорези статора расположена пластина 5, которая под действием рычага 2 и пружины 3 плотно прилегает к поверхности ротора. Пластина 5 герметично отделяет пространство впуска от пространства выпуска газа. По мере вращения ротора против часовой стрелки увеличивается объем рабочей камеры, сообщающейся с входным патрубком I, и газ всасывается в камеру. При следующем обороте ротора газ оказывается отсеченным от входного патрубка и после сжатия до давления несколько больше атмосферного выбрасывается через выпускной патрубокб.

Схема работы золотникового механического насоса показана на рис. 180, в. На эксцентричный ротор 1 надета цилиндрическая обойма 7, от которой отходит открытый сверху параллелепипед 4 с отверстием 5. При вращении ротора обойма катится, несколько проскальзывая, по стенке камеры, а параллелепипед совершает колебательные движения,

379

скользя вверх и вниз в зологникеб. Это позволяет обойме одновременно всасывать откачиваемый газ через верхнее отверстие параллелепипеда и отверстие 5 и выбрасывать его через патрубок 2 и выходной клапан 3. Следовательно, рабочий цикл золотниковых насосов состоит из двух тактов. Насосы такой конструкции сравнительно просты по устройству и отличаются большой производительностью.

Масло, заполняющее кожух механических насосов, предназначено для смазки трущихся деталей и уплотнения зазоров между деталями ротора и статора. Нормальная работа исправных механических насосов определяется главным образом качеством заливаемого в него масла. Уровень масла в насосе проверяют через смотровое окошко после нескольких поворотов шкива. Во избежание выброса масла включать насос следует не сразу, а несколькими последовательными включениями электродвигателя.

Выбор механического насоса для откачки различных объемов определяют его паспортными данными.

Особую группу составляют двухроторные механические насосы, обладающие большой быстротой действия в области давлений 1,33х Х103-1,33 • КГ1 Па при сравнительно небольших габаритных размерах. Двухроторные насосы (Рутса) состоят из двух фигурных роторов (рис. 181), синхронно вращающихся навстречу друг другу. Лопасти роторов вращаются без соприкосновения друг с другом и стенками корпуса, что позволяет развивать большие скорости вращения роторов. Откачка в таких насосах осуществляется путем захвата и переноса газа от входного патрубка к выходному непрерывно вращающимися лопастями. Неуплотненные зазоры между вращающимися частями не позволяют двухроторным насоса

страница 107
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
millenium park
гироскутер по низкой цене в москве
где можно купить нагольники для футбола
снять помещение для хранения ненужных вещей

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(27.05.2017)