химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

с насосом, поток газа одинаков, то

Gi = Сн = Рн*и= Ps0

Величина, комплексно характеризующая вакуумную систему, называется проводимостью трубопровода V, м3/с: U=\IW- Q/[P - Рн), (45), где W - сопротивление трубопровода.

Из формул (44) и (45) можно получить уравнение, связывающее быстроту откачки сосуда^ с быстротой действия насоса $н и проводи373

мостью трубопровода U:sB » SbU/{sh + U). Это - основное уравнение вакуумной техники.

Более подробно теоретические аспекты поведения газов, проблемы, связанные с получением высокого вакуума, описаны в [283]. Степень разрежения в камере необходимо контролировать. Приборы, предназначенные для этих цепей, называются вакуумметрами. По принципу действия вакуумметры подразделяют на следующие виды: жидкостные, непосредственно измеряющие давление; компрессионные, действие которых основано на законе изотермического сжатия идеального газа; деформационные, в которых деформация чувствительного элемента (сильфона, мембраны и т.п.) служит мерой давления; тепловые вакуумметры, использующие зависимость теплопроводности газа от давления; ионизационные, измерения у которых основаны иа ионизации газа (в свою очередь подразделяются иа эпектрораэрядные и электронные).

Все вакуумметры можно еще разделить на приборы прямого и косвенного действия (рис. 175). К вакуумметрам прямого действия относятся жидкостные, компрессионные и деформационные. Отсчет давления у них ие зависит от состава газа и его температуры. Эти приборы измеряют давление в интервале 1 • 10s-1 • Ю-3 Па; относительная погрешность тем меньше, чем выше давление. Вакуумметры косвенного действия измеряют не само давление, а некий параметр, величина которого зависит от давления, и состоят, как правило, иэ манометрического преобразователя и измерительного блока. Величина сигнала у вакуумметров косвенного действия зависит от состава газа и его температуры. Вакуумметрами косвенного действия тепловыми и ионизационными измеряют давление от атмосферного до Ю-10 Па.

При производстве полупроводникового кремния используют преимущественно деформационные вакуумметры, термопарные и ионизационные вакуумметры косвенного действия, ? которые охватывают

рис. 177) - стеклянный или металлический корпус, в котором на двух вводах смонтирован подогреватель, на двух других крепится термопара из хромель-копеля или хромель-алгамеля. Термопара и подогреватель сварены через пере^чку П. Подогреватель нагревают пропусканием электрического тока, величину которого регулируют реостатом и измеряют миллиамперметром. Спай термопары является источником термоэлектродвижущей силы (т.э.д.с), значение которой фиксирует милливольтметр.

При понижении давления в системе при постоянном токе, проходящем через подогреватель, стрелка показывает увеличение т.э.д.с, так как с уменьшением давления уменьшается отвод теплоты через газ и, следовательно, повышается температура перемычки. С помощью термопарного монометрического преобразователя можно измерять давлениевинтервале6,6 • 102-1,0 ? Ю-1 Па.

Для измерения давлений < 0,1 Па применяют ионизационные электроразрядные вакуумметры [284,285]. В ионизационных вакуумметрах используется ионизация разреженного газа, вызываемая потоком электронов из накаленного катода. В результате ионизации нейтральные частицы газа превращаются в заряженные положительные ионы и электроны. Ток положительных ионов, или ионный ток, между анодом и сеткой лампы вакуумметра служит мерой общего количества молекул газа, а следовательно, и мерой давления газа в сосуде. При помощи ионизационного вакуумметра можно измерять давление 0,13-0,13-10"4 Па.

Материалы вакуумной техники должны обладать определенной вакуумной плотностью, низкой упругостью собственных насыщенных паров, антикоррозионной устойчивостью и легкостью очистки поверхности от газов. Все применяющиеся в вакуумной технике материалы можно разбить на три группы: стекло, металлы и технохимические материалы (пластмассы, резина, смазка и т.д.). Какие использовать материалы, определяют в каждом конкретном случае отдельно.

Для выполнения работ при низких давлениях разработано большое число вакуумных насосов. Какие насосы или их комбинации являются для решения поставленной задачи наиболее подходящими, зависит от различных факторов. При этом выбор насоса в первую очередь определяется родом и количеством пропускаемых насосом газов, а также диапазоном рабочих давлений (рис. 178).

Рассмотрим основные типы применяемых при производстве кремния насосов.

Для откачки конденсата водяного пара, создания разрежения в . пневмоуборочной системе, в сушильных, дистилляционных установках, а также в качестве насосов предварительного разрежения для двухро-торных насосов (Рутса) широко применяют водокольцевые насосы

376

ПА

яг

10''

ю-ж

Рис. 178. Диапазоны рабочих давлений насосов:

1 — криогенных; 2 - ионосорбционных; 3,4- парортутных и паромасляных диффузионных; 5,6- парортутных и паромасляных эжекторных; 7 - пароводяных эжекторных; 8 - молекулярных; 5 - двухроторных Фука); ЩИ- двух- и

страница 106
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
такси мерседес в аренду
купить в москверучки макмарт классика флоренция wmn 538.096.00 купить в москве
бок управления chu 220
копрограмма как собрать

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(24.09.2017)