химический каталог




Технология полупроводникового кремния

Автор Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман и др.

обмен паров со стенками цилиндров и улучшает условия рабочего процесса в компрессоре. При ступенчатом сжатии снижается также температура перегрева нагнетаемых паров, что способствует лучшей смазке компрессоров.

4. ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЯ

Вакуумная техника тесно связана с наукой о газах, поскольку получение вакуума сводится к удалению газообразного вещества из герметичных объемов. Поскольку вакуум - состояние газа при давлении значительно ниже атмосферного, то это понятие применимо обычно к газу, заполняющему ограниченный объем, в данном случае камеру печи.

Часто пользуются понятием о степени вакуума, характеризуя его приближенно абсолютными значениями давления.

Обычно полагают, что область давлений от атмосферного до 100 Па относится к низкому вакууму, интервал от 100 до Ю-1 Па соответствует среднему вакууму и интервал от Ю-1 до Ю"5 Па - высокому вакууму, область давлений < Ю-5 Па соответствует сверхвысокому вакууму [282].

Откачивая или нагнетая газ, можно изменять его давление в замкнутом объеме. В вакуумной технике газы из замкнутых объемов удаляют при помощи различных насосов или поглотителей. В качестве единицы количества газа наиболее часто употребляют Па • м3.

371

Для оценки герметичности сосуда введено понятие натекание -количество газа, поступающее в закрьпый объем через различные неплотности, соединения, вследствие десорбции газа из стенок сосуда или системы и т.д. в единицу времени. Измеряется натекание в Па-м3с"'. Если натекание составляет 1,33 • 10" Па-м3'С-1, это значит, что в объеме, равном 1 л и откаченном до высокого вакуума, давление в течение 1 с возрастает на 1,33 • 102 Па; при этом предполагается, что наружное давление равно атмосферному. Этой величине натекания при постоянной температуре соответствует определенное число молекул газа, проникающих в систему в единицу времени (например, при 293 К 3,27 • 10" молекул за 1 с).

Абсолютно герметичных вакуумных систем не существует. Какое натекание для каждого отдельного случая можно считать допустимым, зависит от требуемого предельного давления, получающейся действительной быстроты откачки, а также технологических требований процесса, проводимого в вакуумной установке.

На печах для выращивания монокристаллов кремния по Чохральско-му типа "Редмет-10" и "Редмет-30" предельно допустимая норма натекания 6,6 • 10~4 Па-м3-с~*, для установок бестигельной зонной плавки типа "Кристалл" (0,66-6,6)10~4 Па • м3 ? с" .

Для обнаружения натекания широко используют гелиевые течеиска-тепи (рис. 173), принцип действия которых основан на определении высокочувствительным масс-спектрометрическим анализатором потока гелия, проникающего в камеру печи при вакуумных испытаниях, или потока гелия, вытекающего из камеры печи при избыточном давлении в ней.

Рассмотрим работу простейшей вакуумной системы (рис. 174). Примем, что в оболочке вакуумной системы нет натекания и внутри системы нет газовыделения, а температура газа постоянна.

Рис 173. Методы течеискания и пределы чувствительности течеискателей:

I - масс-спектрометрический течеискатель; II и VII — гелиевый и галоидный щупы; III — химический метод; TV — манометры Пирани и ионизационный; V и VI — палладиевый и галоидный течей ска гели; VIII -повышение давления; IX -погружение; X - мыльная пленка; е — величина натекания

До начала работы насоса давление во всей вакуумной системе одинаково и газ неподвижен. С началом работы насоса начинается

Рис 174. Простейшая вакуумная система:

1 - трубопровод; 2 — вентиль; 3 - откачиваемый сосуд; 4 -манометрические преобразователи; 5 - насос

перемещение газа из сосуда по трубопроводу в насос, причем количество газа в вакуумной системе непрерывно уменьшается, а так как объем системы и температура газа остаются практически неизменными, происходит снижение давления в вакуумной системе. Давление Р„ на входе в насос становится ниже, чем давление Р на выходе откачиваемого сосуда. Таким образом, создается разность Р-Ря, которая обусловлена сопротивлением прохождению потока газа, трубопровода, крана и других элементов. Эту разность принято называть движущей разностью давлений.

Быстротой откачки сосуда или эффективной быстротой откачки sa называют объем газа V, поступающий в единицу времени tиз сосуда в трубопровод при данном давлении Р в откачиваемом сосуде: sB = = dV/d*.

Быстротой действия вакуумного насоса ^ при впускном давлении Р„ называется объем газа d VBr поступающий в работающий насос в единицу времени при этом давлении: s„ = d V„/d t. В любом сечении трубопровода объем определяют: sj = d V,/d t при давлении Р,- (d V,- - объем газа, проходящего через сечение трубопровода за время d ()?

Поскольку принято, что в вакуумной системе отсутствуют натекание и газовыделения, то количество газа, протекающего в единицу времени в любом сечении трубопровода, может быть найдено из выражения: Qt = Рд-. Это количество газа принято называть потоком газа в данном сечении трубопровода.

(44)

Так как во всех сечениях трубопровода, соединяющего откачиваемый сосуд

страница 105
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119

Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb)


[каталог]  [статьи]  [доска объявлений]  [прайс-листы]  [форум]  [обратная связь]

 

 

Реклама
Дверные ручки Genesis купить
сколько стоит ремонт чиллера
сковорода чугунная франция купить в москве
купить кинезио тейп москва

Рекомендуемые книги

Введение в химию окружающей среды.

Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности. Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах. Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга читателей.

Химия и технология редких и рассеянных элементов.

Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во второй части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана, лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия, тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по 1972 год включительно.

 

 



Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100

Copyright © 2001-2012
(29.06.2017)